Комбинированный вакуумный преобразователь RBF-580, T580-D1A210-K2, Вольфрамовая нить+иридиевый термокатод с покрытием оксидом иттрия, RS-232 передача данных, 2 реле, электрическое подключение DB15-2, дисплея нет, вакуумное соединение KF25
- по запросу
- Производитель: Reborn
- Код:T580-D1A210-K2
| Технические характеристики | |
| Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2) | 5×10⁻¹⁰... 1000 мбар (типовой） |
| Точность (Азот) | 1×10⁻⁸... 1×10⁻² мбар ±15% |
| Повторяемость (Азот) | 1×10⁻⁸... 1×10⁻² мбар ±5% |
| Рабочая температура, °C | 0~50℃ |
| Измерительный сигнал | +1…+6,9375 В (1,33×10⁻⁹…1000 мбар) |
| Пороговое давление запуска/отключения ионизационного датчика | Включение: 2,4×10⁻² мбар Отключение: 3,2×10⁻² мбар |
| Режим управления запуском | автоматический/ручной |
| Количество нитей накала (горячий катод) | 2 |
| Максимально допустимое давление | 2 бар (абсолютное значение) |
| Степень защиты | IP40 |
| Минимальное сопротивление нагрузки | 100 Ом |
| Выходной сигнал | +0,5...+7 В (постоянный ток) |
| Монтажная ориентация | Произвольная |
| Относительная влажность | В среднем за год ≤65% без конденсации, в течение 60 дней ≤85% без конденсации |
| Материалы, контактирующие с вакуумом | Нержавеющая сталь, сплав никель-железо, стекло, вольфрам, медь и т.д. |
| Количество реле | 2 |
Близкий
аналог MKS 392 Micro-Ion® Plus
Комбинированный
вакуумный преобразователь RBF-580 состоит из двух независимых измерительных преобразователей:
электронного ионизационного (с горячим катодом) и терморезистивного (датчика Пирани).
Измерительный сигнал выводится в логарифмической форме. Ионизация с помощью
горячего катода активируется только при давлении ниже 2,4 × 10-2 мбар.
Включение ионизационного преобразователя контролируется по показаниям датчика
Пирани. В диапазоне давлений от 2,0 × 10-2
до 5,5 × 10-3 мбар преобразователь выдает смешанный сигнал двух
измерительных преобразователей. Когда давление превышает порог переключения
(3,2 × 10-2 мбар), датчик с горячим катодом отключается, и выдаются
показания датчика Пирани.
Преимущества
·
Чрезвычайно
широкий диапазон измерений от 5 x 10-10 мбар до атмосферного
давления (от 3,8 x 10-10 Торр до атмосферного давления).
·
Не требуется
калибровка нуля. Калибровка нуля выполняется автоматически в процессе работы
прибора, ручная калибровка не требуется.
·
Датчик оснащен двумя
одинаковыми нитями накала (горячими катодами). Если нить накала оборвется, блок
управления прибора немедленно отреагирует и переключится на вторую
(неповрежденную) нить накала.
·
Преобразователь оснащен
тремя нормально-разомкнутыми однополюсными реле, которые можно подключать как к
выходному напряжению любого типа, так и на массу, в зависимости от потребностей
системного контроллера.
·
Результаты
измерений не зависят от установочной ориентации, что обеспечивает максимальную
свободу в проектировании оборудования.
Область
применения：
·
Используется
для измерения давления газа в диапазоне 5×10-10 мбар … 1000 мбар
·
Измерение
давления в рабочих и переходных камерах технологических установок полупроводникового
производства.
·
Промышленные установки вакуумного напыления.
