Активный датчик Leybold IONIVAC ITR 90
- по запросу
| Технические характеристики | |
| Материал корпуса | Cu, W, стекло, NiFe, Мо, нержавеющая сталь, алюминий, иридий, иттрий, NiCr |
| Принцип измерения | 5 (для диапазона 10-8 - 10-2 мБар)/Ионизационный датчик с горячим катодом, терморезисторный датчик Пирани с расширенным диапазоном |
| Тип фланца | KF25 CF40 |
| Электрическое подключение | PROFIBUS (опция)/ контактное соединение/15-полосный Sub-D male разъем /RS 232 C |
| Максимальная температура дегазации, °C | 150/От -20 до +70/От 0 до +50 |
| Погрешность измерений, % | ≥15 (для диапазона 10-1 - 1000 мБар); 15 (для диапазона 10-8 - 10-2 мБар) |
| Индикатор состояния | 100 (30 RS232) |
| Вес, кг | 0.285 (KF25); 0.550 (CF40)/24 (KF25); 34 (CF40) |
| Класс защиты | IP30 |
| Предельное остаточное давление, мбар | 3.75 x 10^-10 - 750/5 x 10-10 - 1000 |
| Мощность двигателя, кВт | 0 - 10 В, 0.774 - 10 В, 0.75 В на декаду/16/<0.5 В/От 20 до 28 Вольт постоянного тока |
| Уровень шума, Дб | От -20 до +70/От 0 до +50 |
| Дегазация | Электронная бомбардировка (макс. 3 минуты) |
| Количество ступеней | Полностью герметичный, заменяемый |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Датчики серии Leybold IONIVAC включают в себя датчик ионизации с горячим катодом и терморезисторный датчик Пирани собранные в одном корпусе. Данное решение позволяет сократить расходы и уменьшить пространство, занятое оборудованием.
Преимущества:
-
Измерения постоянного давления от 10-10 мбар до атмосферного давления;
-
Высокая степень воспроизводимости в диапазоне рабочих давлений от 10-2 до 10-8 мбар;
-
Контролируемое включение и выключение через двойной датчик;
-
Компактный дизайн;
-
Точная геометрия катодов расположенных в надежном корпусе;
-
Эффективная дегазация с помощью электронной бомбардировки;
-
Простая установка датчика;
-
Встроенный дисплей (на некоторых моделях);
-
Интерфейс RS 232C
Применение датчиков:
- Аналитика;
-
Процессы напыления и покрытия;
-
Вакуумные печи;
-
Измерения давления общего назначения в диапазонах низкого и высокого вакуума;
IONIVAC Trasnmitter ITR 90 - комбинированный вакуумный датчик, включающий в себя принцип измерения Байярда-Альперта и Пирани. Он реализует преимущества двух различных технологий в одном компактном экономичном корпусе с диапазоном измерения 5x10-10-1000 мбар (3,75x10-10-1125 Торр) технологического и базового давления.
Датчик может оснащаться дисплеем и интерфейсом PROFIBUS.
