Вакуумный агрегат Edwards iXH4545HT, сухой насос + Рутс, 4200 м³/ч

по запросу

Количество

Производитель: Edwards
Код:ACGD1B123390

iXH4545HT, Edwards iXH4545HT, ACGD1B123390, агрегат Рутс, спарка

Характеристики

Технические характеристики
Электропитание	3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц
Быстрота действия, м³/ч	4200
Соединение вход, Н/П	ISO200
Соединение выход, Н/П	NW40
Производитель	Edwards
Уровень шума, дБ (А)	70
Охлаждение	Водяное
Предельное остаточное давление, Па	<0,67
Размеры, Д×Ш×В	1000×517×966 мм
Масса, кг	814
Артикул	ACGD1B123390

Описание

Edwards iXH4545HT — сухой вакуумный агрегат в едином корпусе: механический бустер Рутса и многоступенчатый сухой насос (iXH450H) с общим управлением и охлаждением.

Каталожные номера Edwards: ACGD1B123390 — HV, спец. исполнение (special features 9).

Производитель не рекомендует эту модель для процессов с большим потоком коррозионных газов — для них подберём другое исполнение.

Особенности

сухой многоступенчатый насос с водяным охлаждением: в камере откачки нет масла — чистый вакуум без загрязнения процесса
рассчитан на тяжёлые технологические процессы полупроводникового, дисплейного и солнечного производства, напыления и химии
модули подачи азота (продувка уплотнений, входа и выхлопа) под конкретный процесс
управление с передней панели, выносного терминала, по Ethernet или от технологического оборудования (MicroTIM); энергосберегающий режим
рабочее давление на входе — от атмосферы до предельного, непрерывная работа

Технические характеристики

быстрота действия: 4200 м³/ч; 4450 м³/ч;
предельное давление: <6,7×10⁻³ мбар (<5×10⁻³ Торр);
потребляемая мощность при предельном давлении: 9,6 кВт;
двигатели: сухой насос 11 кВт, бустер 7,5 кВт;
питание: 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц;
входной фланец: ISO200; выхлоп: NW40;
охлаждение: водяное; вода 10-25 °C; подключения 3/8" BSP быстроразъёмные; расход воды 11-12 л/мин;
азот: 1/4" трубный фитинг; давление N2 2,5-6,9 бар изб.;
уровень шума: 70 дБ(А);
габариты (Д×Ш×В): 1000×517×966 мм;
масса: 814 кг.