Вакуумный агрегат Edwards iXH3030, сухой насос + Рутс, 2900 м³/ч
- по запросу
- Производитель: Edwards
- Код:iXH3030
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Электропитание | 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц |
| Быстрота действия, м³/ч | 2900 |
| Соединение вход, Н/П | ISO160 |
| Соединение выход, Н/П | NW40 |
| Производитель | Edwards |
| Уровень шума, дБ (А) | <70 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, Па | 0,5 |
| Размеры, Д×Ш×В | 915×517×966 мм |
| Масса, кг | 619 |
| Артикул | iXH3030 |
Описание
Edwards iXH3030 — сухой вакуумный агрегат в едином корпусе: механический бустер Рутса и многоступенчатый сухой насос (iXH 300 м³/ч) с общим управлением и охлаждением.
Полный каталожный номер зависит от напряжения (200–230 В или 380–460 В), газового модуля и обратного клапана — подберём исполнение под ваш процесс.
Особенности
- сухой многоступенчатый насос с водяным охлаждением: в камере откачки нет масла — чистый вакуум без загрязнения процесса
- рассчитан на тяжёлые технологические процессы полупроводникового, дисплейного и солнечного производства, напыления и химии
- модули подачи азота (продувка уплотнений, входа и выхлопа) под конкретный процесс
- управление с передней панели, выносного терминала, по Ethernet или от технологического оборудования (MicroTIM); энергосберегающий режим
- рабочее давление на входе — от атмосферы до предельного, непрерывная работа
Технические характеристики
- быстрота действия: 2900 м³/ч (3030); 2750 (3030T/TX);
- предельное давление: 5×10⁻³ мбар (3,7×10⁻³ Торр);
- потребляемая мощность при предельном давлении: 5,7 кВт (+1,5 кВт при включённом нагреве бустера у TX);
- двигатели: сухой насос 7,5 кВт, бустер 7,5 кВт;
- питание: 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц;
- входной фланец: ISO160; выхлоп: NW40;
- охлаждение: водяное; вода 10-30 °C; подключения 3/8" BSP быстроразъёмные; расход воды 7 л/мин (3030); 8 (3030T);
- азот: 1/4" трубный фитинг; давление N2 2,5-6,9 бар изб.;
- уровень шума: <70 дБ(А);
- габариты (Д×Ш×В): 915×517×966 мм;
- масса: 619-624 кг.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подберём исполнение, газовый модуль и аксессуары под ваш процесс.
Цены указаны в рублях с учётом НДС 22%.
