Вакуумный агрегат Edwards iXH1210, сухой насос + Рутс, 1025 м³/ч
- по запросу
- Производитель: Edwards
- Код:ACD102121200
iXH1210, Edwards iXH1210, ACD102121200, агрегат Рутс, спарка
| Технические характеристики | |
| Электропитание | 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц |
| Быстрота действия, м³/ч | 1025 |
| Соединение вход, Н/П | ISO100 |
| Соединение выход, Н/П | NW40 |
| Производитель | Edwards |
| Уровень шума, дБ (А) | 64 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, Па | 0,5 |
| Размеры, Д×Ш×В | 784×390×780 мм |
| Масса, кг | 430 |
| Артикул | ACD102121200 |
Edwards iXH1210 — сухой вакуумный агрегат в едином корпусе: механический бустер Рутса и многоступенчатый сухой насос (iXH100) с общим управлением и охлаждением.
Каталожные номера Edwards: AC3102121200 — 200-230 В 50/60 Гц; ACD102121200 — 380-460 В 50/60 Гц.
Особенности
- сухой многоступенчатый насос с водяным охлаждением: в камере откачки нет масла — чистый вакуум без загрязнения процесса
- рассчитан на тяжёлые технологические процессы полупроводникового, дисплейного и солнечного производства, напыления и химии
- модули подачи азота (продувка уплотнений, входа и выхлопа) под конкретный процесс
- управление с передней панели, выносного терминала, по Ethernet или от технологического оборудования (MicroTIM); энергосберегающий режим
- рабочее давление на входе — от атмосферы до предельного, непрерывная работа
Технические характеристики
- быстрота действия: 1025 м³/ч (iXH1210); 1065 (1210H); 1000 (1210HT); 930 (1210HTX);
- предельное давление: 5×10⁻³ мбар (3,7×10⁻³ Торр);
- потребляемая мощность при предельном давлении: 3,2 кВт (1210); 3,9 кВт (1210H/HT);
- двигатели: сухой насос 4,5 (iXH1210); 7,5 (H/HT/HTX) кВт, бустер 4,5 кВт;
- питание: 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц;
- входной фланец: ISO100; выхлоп: NW40;
- охлаждение: водяное; вода 10-30 °C; подключения 3/8" BSP быстроразъёмные; расход воды 4 л/мин (1210); 4,2 (H/T); 9,4 (HTX);
- азот: 1/4" трубный фитинг; давление N2 2,5-6,9 бар изб.;
- уровень шума: 64 дБ(А);
- габариты (Д×Ш×В): 784×390×780 мм;
- масса: 430 кг (1210); 413 кг (1210H/HT).
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подберём исполнение, газовый модуль и аксессуары под ваш процесс.
