Криогенный вакуумный насос, 48 кг., время охлаждения (мин) ≤90, модель ECP300
- по запросу
| Технические характеристики | |
| Модель | ECP300 |
| Монтажный фланец | (возможна установка фланца по спецификации заказчика) ANSI / ISO / UVG |
| Быстрота действия (л/с), N₂ | 4 000 |
| Быстрота действия (л/с), Ar | 3 500 |
| Быстрота действия (л/с), H₂ | 5 000 |
| Быстрота действия (л/с), H₂O | 9 500 |
| Время охлаждения (мин) | ≤90 |
| Максимальная производительность (Па·л/с) Ar | 2×10³ |
| Емкость (Па·л) Ar | 2.1×10⁸ |
| Емкость (Па·л) H2 | 1.0×10⁵ |
| Масса крионасоса (кг) | 48 |
| Модель согласованного компрессора | HC80W |
| Предельное остаточное давление, Па | 1×10⁻⁷ |
Внимание: При
заказе крионасоса в нашем интернет-магазине, укажите в поле «Комментарий»
требуемую модель насоса.
Комплект поставки: насос, компрессор, регулятор температуры, гелиевые
трубопроводы (3 м), соединительный кабель.
Криогенный вакуумный насос (известный также как крионасос или
криоконденсационный насос) — это безмасляный высоковакуумный насос, относящийся
к классу газоулавливающих насосов. В основе принципа действия криогенного
насоса лежат явления конденсации и адсорбции при низких температурах.
Преимущества:
1. Низкое предельное остаточно давление до 10⁻⁷ Па и ниже
(сверхвысокий вакуум).
2. Низкие эксплуатационные расходы. По сравнению, например, с
диффузионными насосами, криогенные насосы способствуют снижению затрат на
расходные материалы (не нуждаются в замене масла), снижению энергопотребления.
3. Высокая скорость откачки. Крионасосы имеют очень высокую скорость
откачки воздуха, и особенно — водяного пара.
4. Высокая чистота вакуума. В крионасосах для получения и поддержания
вакуума (путем конденсации и адсорбции газа) используются конденсационные
пластины, охлажденные до низких температур (~10-20 К). Сторонние материалы
(такие как вакуумное масло или смазка) отсутствуют, нет движущихся частей.
5. Высокая надежность. В вакуумной камере нет движущихся частей,
поэтому внешние помехи или частицы в вакуумной системе не влияют на работу
крионасоса. Крионасос имеет защиту от чрезмерного повышения давления.
6. Удобство в эксплуатации. Насос устанавливается в произвольном
положении.
7. Длительный срок службы. При плановом обслуживании срок службы
криогенного насоса может достигать 50 000–60 000 часов или даже более 80 000
часов.
Особенности эксплуатации:
1.
Криоконденсационные насосы нуждаются в
периодической регенерации. Периодичность регенерации определяется количеством
откачанного газа. Регенерация обыкновенно проводится в период временного
простоя или обслуживания вакуумной системы.
2.
Крионасосы могут откачивать газ при давлениях
ниже 10⁻¹ Па, однако, для продления периодов между операциями
регенерации рекомендуется начинать криогенную откачку при более низких
давлениях.
3.
Для работы криоконденсационного насоса необходим
гелиевый компрессор. Компрессор поставляется вместе с насосом, однако, при
необходимости компрессор и насос можно приобрести по отдельности.
Применение:
Криогенные насосы широко используются в процессе производства полупроводников,
интегральных схем и оптоэлектронных приборов. Криогенные насосы используются
также в различном оборудовании для нанесения покрытий, установках имитации
космического пространства, ускорителях и другом научном оборудовании и т.п.
