Угловой клапан для производства полупроводников PV-80 HGK-Q, однонаправленный пневматический, перфторкаучук, материал корпуса затвора 316L
- по запросу
- Производитель: CBVAC
- Код:8252
| Технические характеристики | |
| Модель | PV-80HGK-Q |
| Материал корпуса | нержавеющая сталь 316L |
| Привод | пневматический |
| Направленность | однонаправленный |
| Применяемый вакуум | Высокий вакуум |
| Тип уплотнения | Гидроформованный сильфон |
| Используемая среда | Вакуум или инертный газ |
| Рабочая температура, °C | +5...+150 ℃ |
| Время закрывания | ≤ 1,4 |
| Время открывания | ≤ 0,7 |
| Пропускная способность (Ms) | 200 |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи корпуса | 1×10⁻¹¹ Па·м³/с |
| Тип фланца | KF80(NW80) |
| Материал уплотнения перфторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻⁸ Па·м³/с |
| Материал упл. перфторкаучук (Па·м³/с),Величина течи корпуса | 1×10⁻⁹ Па·м³/с |
| Число циклов срабатывания до первого техобслуживания | 1 000 000 |
| Интенсивность вибрации (G) | ≤ 0,28 |
| Давление сжатого воздуха (МПа) | 0,4–0,7 |
| Подключение сжатого сухого воздуха | M5 |
| Воздушный фитинг (опционально) | φ 4, φ6 |
| Индикация положения запирающего элемента | Геркон (опционально) D-M9BL D-M9NL D-M9PL |
| Тип клапана | Нормально закрытый (с приложенным давлением, эластомерное уплотнение) |
| Примечание | Перфторкаучук |
| Производитель | CBVAC |
| Материал уплотнения | витон (FKM) / перфторкаучук (FFKM) |
| Рабочее давление, Па | От 1×10⁻⁶ до 1,03×10⁵ (атмосферное давление) |
| Артикул | 8252 |
| Размеры | |
| Диаметр, мм | 80 |
Общие сведения
Клапаны этой серии поставляются с ручным, пневматическим и двойным пневматическим приводом. Они отличаются плавным срабатыванием, компактными размерами, надежностью в эксплуатации, превосходными характеристиками герметизации, а также длительным сроком службы. Эти клапаны широко применяются в оборудовании для обработки полупроводниковых компонентов.
Характеристики
●Небольшая масса и компактная конструкция.
●Малые размеры при большой пропускной способности.
●Превосходная стойкость к коррозии под воздействием фторид-ионов.
●Низкая степень загрязнения тяжелыми металлами и продуктами износа.
●Минимальная величина течи.
●Нормально закрытая конструкция, автоматическое закрывание под действием пружины при отключении подачи сжатого газа.
●Геркон (магнитный переключатель) для индикации положения.
●Уплотнения запирающего элемента установлены в двойных трапецеидальных пазах, препятствующих выпадению уплотнительного кольца.
●В процессе очистки удаляются ионы металлов, органические пленки и прилипшие к поверхности твердые частицы.
●100 % испытание на утечку аммиака.
Коды для выбора модели клапана
