Угловой клапан для производства полупроводников DAV-16 HLK-Q, KF, двунаправленный пневматический, перфторкаучук, материал корпуса затвора алюминий
- по запросу
- Производитель: CBVAC
- Код:8221-Q
| Технические характеристики | |
| Модель | DAV-16HLK-Q |
| Материал корпуса | алюминий |
| Привод | пневматический |
| Направленность | двунаправленный |
| Применяемый вакуум | Высокий вакуум |
| Тип уплотнения | Гидроформованный сильфон |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с) | Малая величина течи через тарелку клапана 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Материал уплотнения перфторкаучук (Па·м³/с) | Малая величина течи через тарелку клапана 1×10⁸ Па·м³/с |
| Используемая среда | Вакуум или инертный газ |
| Рабочая температура, °C | +5...+150 ℃ |
| Время закрывания | основного клапана ≤ 0,5 первичного выпускного клапана ≤ 0,21 |
| Время открывания | основного клапана ≤ 0,5 первичного выпускного клапана ≤ 0,21 |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи корпуса | 1×10⁻¹¹ Па·м³/с |
| Тип фланца | KF16(NW16) |
| Материал уплотнения перфторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻⁸ Па·м³/с |
| Материал упл. перфторкаучук (Па·м³/с),Величина течи корпуса | 1×10⁻⁹ Па·м³/с |
| Число циклов срабатывания до первого техобслуживания | 1 000 000 |
| Интенсивность вибрации (G) | ≤ 0,28 |
| Индикация положения запирающего элемента | Геркон (опционально) Опциональная модель |
| Тип клапана | Нормально закрытый (с приложенным давлением, эластичное уплотнение) [одинаково для основного и первичного клапана] |
| Примечание | перфторкаучук |
| Производитель | CBVAC |
| Материал уплотнения | витон (FKM) / перфторкаучук (FFKM) |
| Рабочее давление, Па | От 1×10⁻⁶ до 1,03×10⁵ (атмосферное давление) |
| Артикул | 8221-Q |
| Размеры | |
| Диаметр, мм | 16 |
Общие сведения
Клапаны этой серии поставляются с ручным, пневматическим и двойным пневматическим приводом. Они отличаются плавным срабатыванием, компактными размерами, надежностью в эксплуатации, превосходными характеристиками герметизации, а также длительным сроком службы. Эти клапаны широко применяются в оборудовании для обработки полупроводниковых компонентов.
Характеристики
●Небольшая масса и компактная конструкция.
●Малые размеры при большой пропускной способности.
●Превосходная стойкость к коррозии под воздействием фторид-ионов.
●Низкая степень загрязнения тяжелыми металлами и продуктами износа.
●Минимальная величина течи.
●Нормально закрытая конструкция, автоматическое закрывание под действием пружины при отключении подачи сжатого газа.
●Геркон (магнитный переключатель) для индикации положения.
●Уплотнения запирающего элемента установлены в двойных трапецеидальных пазах, препятствующих выпадению уплотнительного кольца.
●В процессе очистки удаляются ионы металлов, органические пленки и прилипшие к поверхности твердые частицы.
●100 % испытание на утечку аммиака.
Размер клапана DAV
Коды для выбора модели клапана
