Угловой клапан для производства полупроводников HIV-25HGK-Q, ручной, перфторкаучук, материал корпуса затвора 316L
- по запросу
- Производитель: CBVAC
- Код:S8242-Q
HIV-25HGK-Q, угловой клапан, полупроводники, KF25(NW25), CBVAC
| Технические характеристики | |
| Модель | HIV-25HGK-Q |
| Материал корпуса | нержавеющая сталь 316L |
| Привод | ручной |
| Применяемый вакуум | Высокий вакуум |
| Тип уплотнения | Гидроформованный сильфон |
| Используемая среда | Вакуум или инертный газ |
| Рабочая температура, °C | +5...+150 ℃ |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи корпуса | 1×10⁻¹¹ Па·м³/с |
| Тип фланца | KF25(NW25) |
| Материал уплотнения перфторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻⁸ Па·м³/с |
| Материал упл. перфторкаучук (Па·м³/с),Величина течи корпуса | 1×10⁻⁹ Па·м³/с |
| Примечание | перфторкаучук |
| Производитель | CBVAC |
| Вес, кг | 0.53 |
| Материал уплотнения | витон (FKM) / перфторкаучук (FFKM) |
| Рабочее давление, Па | От 1×10⁻⁶ до 1,03×10⁵ (атмосферное давление) |
| Артикул | S8242-Q |
| Размеры | |
| Диаметр, мм | 25 |
CBVAC HIV-25HGK-Q — угловой клапан для полупроводникового оборудования, присоединение KF25(NW25), ручной привод, уплотнение — перфторкаучук. Затвор из нержавеющей стали 316L, шток уплотнён гидроформованным сильфоном.
Особенности
- 316L и гидроформованный сильфон — для чистых процессов травления, осаждения и эпитаксии;
- уплотнение перфторкаучук: течь седла 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (FKM) и 1×10⁻⁸ Па·м³/с (FFKM);
- рабочая температура до +150 °C;
- среда: вакуум или инертный газ.
Технические характеристики
- условный проход: DN25, присоединение KF25(NW25);
- рабочее давление: от 1×10⁻⁶ Па до атмосферного (1,03×10⁵ Па);
- рабочая температура: +5…+150 °C;
- материал корпуса затвора: нержавеющая сталь 316L, уплотнение — перфторкаучук;
- масса: 0,53 кг;
- заказной номер CBVAC: S8242-Q.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Уточним материал уплотнения (FKM или FFKM) и наличие датчиков положения.
