Угловой клапан для производства полупроводников PAV-63HGL, однонаправленный пневматический, фторкаучук, материал корпуса затвора 316L
- по запросу
- Производитель: CBVAC
- Код:8220
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Модель | PAV-63HGL |
| Материал корпуса | нержавеющая сталь 316L |
| Привод | пневматический |
| Применяемый вакуум | Высокий вакуум |
| Тип уплотнения | Гидроформованный сильфон |
| Используемая среда | Вакуум или инертный газ |
| Рабочая температура, °C | +5...+150 ℃ |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Материал уплотнения фторкаучук (Па·м³/с), Величина течи корпуса | 1×10⁻¹¹ Па·м³/с |
| Тип фланца | ISO-K 63 |
| Материал уплотнения перфторкаучук (Па·м³/с), Величина течи седла | 1×10⁻⁸ Па·м³/с |
| Материал упл. перфторкаучук (Па·м³/с),Величина течи корпуса | 1×10⁻⁹ Па·м³/с |
| Давление сжатого воздуха (МПа) | 0,4–0,7 |
| Подключение сжатого сухого воздуха | M5 |
| Примечание | Фторкаучук |
| Производитель | CBVAC |
| Вес, кг | 4.37 |
| Материал уплотнения | витон (FKM) / перфторкаучук (FFKM) |
| Рабочее давление, Па | От 1×10⁻⁶ до 1,03×10⁵ (атмосферное давление) |
| Артикул | 8220 |
| Размеры | |
| Диаметр, мм | 63 |
Описание
CBVAC PAV-63HGL — угловой клапан для полупроводникового оборудования, присоединение ISO-K 63, однонаправленный пневмопривод, уплотнение — фторкаучук. Затвор из нержавеющей стали 316L, шток уплотнён гидроформованным сильфоном.
Особенности
- 316L и гидроформованный сильфон — для чистых процессов травления, осаждения и эпитаксии;
- уплотнение фторкаучук: течь седла 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (FKM) и 1×10⁻⁸ Па·м³/с (FFKM);
- рабочая температура до +150 °C;
- среда: вакуум или инертный газ.
Технические характеристики
- условный проход: DN63, присоединение ISO-K 63;
- рабочее давление: от 1×10⁻⁶ Па до атмосферного (1,03×10⁵ Па);
- рабочая температура: +5…+150 °C;
- материал корпуса затвора: нержавеющая сталь 316L, уплотнение — фторкаучук;
- управляющий воздух: 0,4–0,7 МПа, подключение M5;
- масса: 4,37 кг;
- заказной номер CBVAC: 8220.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Уточним материал уплотнения (FKM или FFKM) и наличие датчиков положения.
Цены указаны в рублях с учётом НДС 22%.
