Активный датчик Leybold PENNINGVAC PTR 225N / PTR 237N
- по запросу
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах. Вакуумные датчики Leybold PENNINGVAC специально разработаны для интеграции в программируемые системы управления. Активные датч..
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Вакуумные датчики Leybold PENNINGVAC специально разработаны для интеграции в программируемые системы управления.
Активные датчики (зависимость напряжения на преобразователе от давления) оснащены измерительной ячейкой с холодным катодом и встроенной электронной системой управления и обработки данных. Датчики работают в широком диапазоне измеряемых давлений: от 1 х 10-9 до 1 × 10-2 мбар (от 0,75 х 10-9 до 0,75 х 10-2 торр). Полученный сигнал может быть легко передан на большие расстояния.
Преимущества:
- Хорошие показатели по соотношению цена - качество;
- Доступно с тремя заданными значениями;
- Высокая воспроизводимость и высокая точность;
- Удобство эксплуатации;
- LED кольцо для индикации состояния датчика;
- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа;
- Дополнительные компьютерные интерфейсы: EtherCAT и RS 232
Область применения:
- Технологии распыления и нанесения покрытий;
- Аналитические технологии;
- Вакуумные печи;
- Универсальные измерения давления и контроль в среднем и высоком диапазонах вакуума;
- Сканирующие электронные микроскопы;
- Испарение и распылительные системы;
- Высоковакуумные системы;
- Крио процессы.
Ионизационные датчики Leybold PENNINGVAC | |
Температура хранения, °C | -20 до +65 |
Рабочая температура, °C | 0 до 40 |
Класс защиты | IP 40 |
Погрешность измерений, % | ±30% 1 х 10<sup>-8</sup> - 1 х 10<sup>-3</sup> |
Принцип измерения | Холодный катод, ионизация газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга |
Материал, контактирующий со средой | 304 нержавеющая сталь, 403 нержавеющая сталь, керамика (Al2O3), Viton, титан, низко дегазированная эпоксидная смола |
Диапазон измерений, мБар | 1 х 10<sup>-8</sup> - 5 х 10<sup>-3</sup>; 1 х 10<sup>-8</sup> - 6.7 х 10<sup>-3</sup> (подключение по EtherCAT) |
Диапазон измерений, мм рт. ст. (Торр) | 0.75 x 10^-8 - 3.75 х 10^-3; |
Масса, кг | 0.318 |
Тип фланца | KF25 CF40 |
Диапазон рабочей влажности, % | 0 - 95 |
Питающее напряжение, В | 9 - 30 |
Потребление электроэнергии, Вт | <2 |
Индикатор состояния | LED-ring (360°) |
Максимальная длина кабеля, м. | 100 |
Мертвый объем, см3 | 25.6 |
Максимальная температура обезгаживания(отключение питания), °C | 85 |
Вывод сигнала, В | Vout =1.33 log 10 (Pmbar) +12.66; 2.0 до 9.6 |
Разрешение, бит | 16 |
Полное сопротивление, Ом | 100 |
Скорость обновления, Гц | 16 |
Интерфейс | FCC68 / RJ 45 (EtherCAT: RS 232) |
Стабильность | ±30% 1 х 10<sup>-8</sup> - 1 х 10<sup>-3</sup> |