Технические характеристики | |
Входной фланец | KF25 KF40 CF40 |
Материал корпуса | 304 нержавеющая сталь, 403 нержавеющая сталь, керамика (Al2O3), Viton, титан, низко дегазированная эпоксидная смола |
Принцип измерения | 16/sup> до 100)/±2% (1 х 10-3Холодный катод, ионизация газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга |
Электрическое подключение | FCC68 / RJ45 |
Погрешность измерений, % | ±10% (1 х 10-4 до 1 х 10-3); |
Индикатор состояния | 100/LED-ring (360°) |
Вес, кг | 0.321/28.6 |
Скорость вращения вала, об/мин | 16 |
Предельное остаточное давление, мбар | 0.75 × 10^-8 - 750/1 × 10-8750/sup> - 1000 |
Мощность двигателя, кВт | 100/2.0 до 8.667 (RS 232)/9 - 30/<2/Vout = log 0.6 (Pmbar) + 6.8; 2.0 до 8.668 |
Уровень шума, Дб | 0 - 95/85/От +0 до +40/От -20 до +65 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Вакуумные датчики Leybold PENNINGVAC специально разработаны для интеграции в программируемые системы управления.
Активные датчики (зависимость напряжения на преобразователе от давления) оснащены измерительной ячейкой с холодным катодом и встроенной электронной системой управления и обработки данных. Датчики работают в широком диапазоне измеряемых давлений:
от 1 х 10-9 до 1 × 10-2 мбар (от 0,75 х 10-9 до 0,75 х 10-2 торр). Полученный сигнал может быть легко передан на большие расстояния.
Преимущества:
- Долгий срок эксплуатации;
- Высокая воспроизводимость;
- Удобство эксплуатации;
- Есть модель с дисплеем для единиц измерения давления;
- Широкий диапазон измерения давления;
- Автоматическая установка нуля во время откачки цикла для повышения точности;
- LED кольцо для индикации состояния датчика;
-
Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа.
Область применения:
- Технологии распыления и нанесения покрытий
- Вакуумные печи
- Металлургия
- Сканирующая электронная микроскопия
- Перерабатывающая промышленность
- Общие вакуумные измерения
- Аналитические технологии
- Универсальные измерения давления и контроль в среднем и высоком диапазонах вакуума