Технические характеристики | |
Входной фланец | KF25 KF40 CF40 |
Материал корпуса | Нержавеющая сталь, керамика, Mo, Ni, Au, W, Витон |
Принцип измерения | 5 (в диапазоне от 0,75 × 10<sup>-8</sup> до 75 Торр)/Холодный катод, ионизация газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга |
Электрическое подключение | FCC 68 разъем, 8-ми контактный |
Погрешность измерений, % | 30 (в диапазоне от 0,75 × 10<sup>-8</sup> до 75 Торр) |
Класс защиты | IP 40 |
Предельное остаточное давление, мбар | 10/3.75 × 10^-9 - 750/5 × 10<sup>-9</750/sup> - 1000 |
Мощность двигателя, кВт | <0,5 В при отключении питания; > 9.5 В (если датчик Пирани неисправен - обрыв нити)/0 - 10.5/1 декада/1.82 - 8.6/15 - 30/Логарифмическое, 0.6 В |
Уровень шума, Дб | От +5 до +55/От -40 до +65 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Вакуумные датчики Leybold PENNINGVAC специально разработаны для интеграции в программируемые системы управления.
Активные датчики (зависимость напряжения на преобразователе от давления) оснащены измерительной ячейкой с холодным катодом и встроенной электронной системой управления и обработки данных. Датчики работают в широком диапазоне измеряемых давлений:
от 1 х 10-9 до 1 × 10-2 мбар (от 0,75 х 10-9 до 0,75 х 10-2 торр). Полученный сигнал может быть легко передан на большие расстояния.
Преимущества:
- Цельнометаллические датчики с холодным катодом;
- Высокая воспроизводимость значений;
- Хорошие характеристики зажигания тлеющего разряда благодаря оптимизированной конструкции электродов;
- Высокая стойкость к загрязнению (в том числе при работе в аргоновой среде) за счет снижения высокого напряжения после зажигания плазмы вследствие использования титанового катода;
- Пороговое значение срабатывания регулируемое в широком диапазоне (от 1 х 10-9 до 1 х 10-2 мбар (от 0,75 х 10-9 до 0,75 х 10-2 торр)), передаваемое на контакты реле (PTR 225 S);
- Низкое значение магнитного поля;
- Низкий электромагнитный шум при измерении благодаря экранированному корпусу, разъему FCC-68;
- Светодиодный индикатор работы;
- Логарифмический выходной сигнал;
- Интеллектуальный интерфейс;
- Высокая устойчивость к распылению вследствие использования титановых катодных пластин;
- Технологии распыления и нанесения покрытий;
- Аналитическая инженерия;
- Вакуумные печи;
- Системы высокого вакуума;
- Системы с большим расстоянием между точкой измерения и точкой обработки данных и др.