Технические характеристики | |
Входной фланец | KF25 CF40 |
Материал корпуса | 304 нержавеющая сталь, 403 нержавеющая сталь, керамика (Al2O3), Viton, титан, низко дегазированная эпоксидная смола |
Принцип измерения | 16/sup>/sup> - 1 х 10<sup>-3</±30% 1 х 10<sup>-8</Холодный катод, ионизация газа с помощью тлеющего разряда Пеннинга |
Электрическое подключение | FCC68 / RJ 45 (EtherCAT: RS 232) |
Погрешность измерений, % | ±30% 1 х 10<sup>-8</sup> - 1 х 10<sup>-3</sup> |
Индикатор состояния | 100/LED-ring (360°) |
Вес, кг | 0.318/25.6 |
Класс защиты | IP 40 |
Скорость вращения вала, об/мин | 16 |
Предельное остаточное давление, мбар | 0.75 x 10^-8 - 3.75 х 10^-3;/1 х 10<sup>-8</sup> (подключение по EtherCAT)/sup> - 5 х 10<sup>-3</sup> - 6.7 х 10<sup>-3</sup>; 1 х 10<sup>-8< |
Мощность двигателя, кВт | <2/100/9 - 30/Vout =1.33 log 10 (Pmbar) +12.66; 2.0 до 9.6 |
Уровень шума, Дб | -20 до +65/0 - 95/0 до 40/85 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Вакуумные датчики Leybold PENNINGVAC специально разработаны для интеграции в программируемые системы управления.
Активные датчики (зависимость напряжения на преобразователе от давления) оснащены измерительной ячейкой с холодным катодом и встроенной электронной системой управления и обработки данных. Датчики работают в широком диапазоне измеряемых давлений: от 1 х 10-9 до 1 × 10-2 мбар (от 0,75 х 10-9 до 0,75 х 10-2 торр). Полученный сигнал может быть легко передан на большие расстояния.
Преимущества:
- Хорошие показатели по соотношению цена - качество;
- Доступно с тремя заданными значениями;
- Высокая воспроизводимость и высокая точность;
- Удобство эксплуатации;
- LED кольцо для индикации состояния датчика;
- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа;
- Дополнительные компьютерные интерфейсы: EtherCAT и RS 232
Область применения:
- Технологии распыления и нанесения покрытий;
- Аналитические технологии;
- Вакуумные печи;
- Универсальные измерения давления и контроль в среднем и высоком диапазонах вакуума;
- Сканирующие электронные микроскопы;
- Испарение и распылительные системы;
- Высоковакуумные системы;
- Крио процессы.