Технические характеристики | |
Входной фланец | KF25 |
Материал корпуса | 304 нержавеющая сталь, 403 нержавеющая сталь, керамика (Al2O3), силикон, SiO2, Si3N4, олово, золото, Viton, титан, низко дегазированная эпоксидная смола |
Принцип измерения | 16/MEMS-Pirani and Diff. Piezo (Теплопроводность в соответствии с Piezo)/sup> – 1 х 10<sup>-3</sup>);/±30% Penning (1 х 10<sup>-8< |
Электрическое подключение | D-Sub 15 pin/RS 232 |
Погрешность измерений, % | ±10% (1 х 10<sup>-8</sup> – 1 х 10<sup>-3</sup>); |
Индикатор состояния | 20/LED-ring (360°ree;) |
Вес, кг | 0.321/28.6 |
Класс защиты | IP 40 |
Скорость вращения вала, об/мин | 16 |
Предельное остаточное давление, мбар | 0.75 х 10^-5 - 1125/1125/5 х 10<sup>-8</sup> - 1500 |
Мощность двигателя, кВт | 100/9 - 30/Vout = log0.6 (Pmbar) + 6.8; 2.0 to 8.667/≤2 |
Уровень шума, Дб | -20 - +65/0 - 40/0 - 95/85 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Вакуумные датчики Leybold PENNINGVAC специально разработаны для интеграции в программируемые системы управления.
Активные датчики (зависимость напряжения на преобразователе от давления) оснащены измерительной ячейкой с холодным катодом и встроенной электронной системой управления и обработки данных. Датчики работают в широком диапазоне измеряемых давлений: от 1 х 10-9 до 1 × 10-2 мбар (от 0,75 х 10-9 до 0,75 х 10-2 торр). Полученный сигнал может быть легко передан на большие расстояния.
Преимущества:
- Высокая скорость измерения и точность ;
- Независимые от рода газа измерения давления в диапазоне от 50 мбар до 1300 мбар;
- Три интегрированных заданных установки;
- До трех датчиков в одном корпусе для широкого диапазона измерений;
- Сигнал измерения нечувствителен к положению;
- Простота в эксплуатации;
- LED кольцо для индикации состояния датчика;
- Производство вакуумных камер;
- Аналитические технологии;
- Сканирующие электронные микроскопы;
- Вакуумные печи;
- Универсальные измерения давления и контроль в среднем и высоком диапазонах вакуума.