Активный датчик Leybold THERMOVAC TTR 911 N / TTR 916 N
- по запросу
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Входной фланец | KF16 |
| Принцип измерения | 911 N: MEMS-Pirani; 911 NC, 916 N: Coated MEMS-Pirani |
| Диапазон измерений, мБар | 5 х 10-5 - 1000 |
| Питающее напряжение, В | 9 - 30 |
| Вывод сигнала, В | Vout = log10 (Pmbar) x 1.286 + 6.143;1.1 to 10 |
| Электрическое подключение | FCC68 / RJ45 |
| Полное сопротивление, Ом | 100 |
| Интерфейс | TTR 911 N - Display; TTR 911 (S)N - RS 232; TTR 911 (C)N - EtherCat/Profibus; TTR 916 - NDisplay: N/A |
| Разрешение, бит | 16 |
| Максимальная температура обезгаживания(отключение питания), °C | 85 |
| Погрешность измерений, % | ±10% (5 х 10-4 до 1 х 10-3); |
| Скорость обновления, Гц | 16 |
| Индикатор состояния | LED - Ring (360°) |
| Диапазон измерений, мм рт. ст. (Торр) | 3.75 х 10^-5 - 750 |
| Полная шкала измерений, мм рт. ст. (Торр) | 750 |
| Вес, кг | 0.168 |
| Материал, контактирующий со средой | 304 нержавеющая сталь, 403 нержавеющая сталь, силикон, SiO2, Si3N4, олово, золото, Viton®, титан, низко дегазированная эпоксидная смола, Parylene-HT® |
| Класс защиты | IP 40 |
| Температура хранения, °C | -20 до +65 |
| Диапазон рабочей влажности, % | 0 - 95 |
| Потребление электроэнергии, Вт | ≤1.2 |
| Максимальная длина кабеля, м. | 100 |
| Мертвый объем, см3 | 0.168/2.8 |
| Рабочая среда | |
| Рабочая температура, °C | 0 до 40 |
Описание
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Принцип работы датчиков серии THERMOVAC основан на изменении давления при изменении теплопроводности (принцип Пирани).
Датчик предлагают широкий диапазон измерения абсолютного и дифференциального диапазон -1013 до 1013 мбар (относительно атмосферного давления). Высокоточный дифференциальный датчик не чувствителен к изменениям условий окружающей среды под давлением.
Преимущества:
- Высокая воспроизводимость и высокая точность;
- Независимость от типа газа в диапазоне давлений от 50 до 1300 мбар;
- Три интегрированные заданных значения;
- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа;
- До трех датчиков в одном корпусе для широкого диапазона измерений;
- Простота в эксплуатации через аналоговый и цифровой выход;
- LED кольцо для индикации состояния датчика.
Применение:
- Общее измерение вакуума и контроль от низкого до среднего вакуума;
- Контроль датчиков ионизации высокого вакуума;
- Аналитическое оборудование;
- Сканирующие электронные микроскопы;
- Процессы, требующие как абсолютное измерение давления и возможность переключения на атмосферу.
