Активный датчик Leybold THERMOVAC TTR 91 N / TTR 91 SN / TTR 96 SN
- по запросу
| Технические характеристики | |
| Входной фланец | KF16, CF16, 1/8” NPT |
| Принцип измерения | MEMS-Pirani; Coated MEMS-Pirani (TTR 96 SN) |
| Диапазон измерений, мБар | 5 х 10<sup>-5</sup> - 1000 |
| Питающее напряжение, В | 9 - 30 |
| Вывод сигнала, В | Vout = log10 (Pmbar) x 1.286 + 6.143; 1.1 to 10 |
| Электрическое подключение | FCC68 / RJ45 |
| Полное сопротивление, Ом | 100 |
| Разрешение, бит | 16 |
| Максимальная температура обезгаживания(отключение питания), °C | 85 |
| Погрешность измерений, % | ±10% 5 х 10<sup>-4</sup> до 1 х 10<sup>-3</sup>;</br> |
| Скорость обновления, Гц | 16 |
| Индикатор состояния | LED - Ring (360°) |
| Диапазон измерений, мм рт. ст. (Торр) | 3.75 х 10^-5 - 750 |
| Полная шкала измерений, мм рт. ст. (Торр) | 750 |
| Вес, кг | 0.170 |
| Материал, контактирующий со средой | 304 нержавеющая сталь, силикон, SiO2, Si3N4, олово, золото, Viton®, низко дегазированная эпоксидная смола |
| Класс защиты | IP 40 |
| Температура хранения, °C | -20 до +65 |
| Диапазон рабочей влажности, % | ≤95 |
| Потребление электроэнергии, Вт | ≤1.2 |
| Максимальная длина кабеля, м. | 100 |
| Мертвый объем, см3 | 0.170/2.8 |
| Рабочая среда | |
| Рабочая температура, °C | 0 до 40 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Принцип работы датчиков серии THERMOVAC основан на изменении давления при изменении теплопроводности (принцип Пирани). Измерительный элемент состоит из вольфрамовой (TTR 91/TTR 91 S) или никелевой (TTR 96 S) нити. Датчики THERMOVAC TTR 91 S и TTR 96 S имеют два встроенных переключающих реле.
Принцип измерения : терморезисторный (принцип Пирани). Диапазон измерения/отображения: от 5 х 10 -5 до 1500 мбар.
Данная серия датчиков оснащена LED кольцом (360°), которое показывает состояние датчика.
Преимущества:
- Датчик устойчив к вибрациям и ударам;
- Быстрая реакция и высокая точность;
- Высокая воспроизводимость;
- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа;
- Прочный корпус из нержавеющей стали;
- Дополнительные компьютерные интерфейсы: EtherCAT и RS 232;
- Версия с длинной трубкой для достижения более высоких температур в камере отжига;
- LED кольцо для индикации состояния датчика.
Применение:
- Аналитическая инженерия;
- Исследования и разработка;
- Вакуумная сушка;
- Контроль датчиков ионизации;
- Система управления технологическими процессом;
- Перерабатывающая промышленность;
- Закрытые модели для улучшенной химической стойкости
Сенсор.
Принцип измерения датчиков серии THERMOVAC основан на теплопроводности. Датчики оснащены чувствительным элементом MEMS-Пирани, который состоит из кремниевого чипа с нагретым резистивным элементом.
Датчики THERMOVAC с покрытием на основе МЭМС-Пирани хорошо подходят для жестких процессов. Интеграция датчиков в программируемых системах управления облегчается линейной характеристикой, которая может быть определена путем ввода простого уравнения в ПЛК или компьютер.
