Технические характеристики | |
Входной фланец | KF16 |
Принцип измерения | MEMS-Pirani and Diff. Piezo Теплопроводность в соответствии с Piezo |
Диапазон измерений, мБар | 5 х 10-5 - 1500 |
Питающее напряжение, В | 9 - 30 |
Вывод сигнала, В | Vout = log10 (Pmbar) x 1.286 + 6.143; 0.61 to 10.23 |
Электрическое подключение | D-Sub 15 pin |
Полное сопротивление, Ом | 100 |
Интерфейс | RS 232 |
Разрешение, бит | 16 |
Максимальная температура обезгаживания(отключение питания), °C | 85 |
Погрешность измерений, % | ±10% (1 х 10-4 до 1 х 10-3); |
Скорость обновления, Гц | 16 |
Стабильность | ±2% Penning, мбар (1 х 10-3 до 100); |
Индикатор состояния | LED - Ring (360°) |
Диапазон измерений, мм рт. ст. (Торр) | 3.75 х 10^-5 - 1125 |
Полная шкала измерений, мм рт. ст. (Торр) | 1125 |
Вес, кг | 0.305 |
Материал, контактирующий со средой | 304 нержавеющая сталь, силикон, SiO2 , Si3N4, олово, золото, Viton®, низко дегазированная эпоксидная смола |
Класс защиты | IP 40 |
Температура хранения, °C | -20 до +65 |
Диапазон рабочей влажности, % | 0 - 95 |
Потребление электроэнергии, Вт | ≤1.2 |
Максимальная длина кабеля, м. | 20 |
Мертвый объем, см3 | 0.305/2.8 |
Рабочая среда | |
Рабочая температура, °C | 0 до 40 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Принцип работы датчиков серии THERMOVAC основан на изменении давления при изменении теплопроводности (принцип Пирани).
Датчик предлагают широкий диапазон измерения абсолютного и дифференциального диапазон -1013 до 1013 мбар (относительно атмосферного давления). Высокоточный дифференциальный датчик не чувствителен к изменениям условий окружающей среды под давлением.
Преимущества:
- Высокая воспроизводимость и высокая точность;
- Независимость от типа газа в диапазоне давлений от 50 до 1300 мбар;
- Три интегрированные заданных значения;
- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа;
- До трех датчиков в одном корпусе для широкого диапазона измерений;
- Простота в эксплуатации через аналоговый и цифровой выход;
- LED кольцо для индикации состояния датчика.
Применение:
- Общее измерение вакуума и контроль от низкого до среднего вакуума;
- Контроль датчиков ионизации высокого вакуума;
- Аналитическое оборудование;
- Сканирующие электронные микроскопы;
- Процессы, требующие как абсолютное измерение давления и возможность переключения на атмосферу.