Технические характеристики | |
Входной фланец | KF16, 1/8" NPT |
Принцип измерения | MEMS-Pirani and Piezo - Теплопроводность в соответствии с Piezo |
Диапазон измерений, мБар | 5 х 10<sup>-5</sup> - 1500 |
Питающее напряжение, В | 9 - 30 |
Вывод сигнала, В | Vout = log10 (Pmbar) x 1.286 + 6.143; 0.61 to 10.23 |
Электрическое подключение | 1x FFC68 или 2x FCC68 + 1x D-Sub 15 PIN |
Полное сопротивление, Ом | 100 |
Интерфейс | RS 232 / Display / EtherCAT / Profibus |
Разрешение, бит | 16 |
Максимальная температура обезгаживания(отключение питания), °C | 85 |
Погрешность измерений, % | ±10% (5 х 10<sup>-4</sup> – 1 х 10<sup>-3</sup>);</br> |
Скорость обновления, Гц | 16 |
Индикатор состояния | LED - Ring (360°) |
Диапазон измерений, мм рт. ст. (Торр) | 3.75 х 10^-5 - 1125 |
Полная шкала измерений, мм рт. ст. (Торр) | 1125 |
Вес, кг | 0.168 |
Материал, контактирующий со средой | 304 нержавеющая сталь, силикон, SiO2 , Si3N4, олово, золото, Viton®, низко дегазированная эпоксидная смола |
Класс защиты | IP 40 |
Температура хранения, °C | -20 до +65 |
Диапазон рабочей влажности, % | 0 - 95 |
Потребление электроэнергии, Вт | ≤1.2 [2 для EtherCAT] |
Максимальная длина кабеля, м. | 100 |
Мертвый объем, см3 | 0.168/2.8 |
Рабочая среда | |
Рабочая температура, °C | 0 до 40 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Датчики серии THERMOVAC TTR 101 S(N) используют теплопроводность MEMS Pirani в сочетании с кремниевой мембраной Piezo. Это обуславливает превосходную точность показаний независимо от вида газа в диапазоне 10 мбар до 1500 мбар.
Преимущества:
- Широкий диапазон измерения давления путем объединения двух технологий датчиков в один выход;
- Независимость от типа газа в диапазоне давлений от 10 до 1500 мбар;
- Индивидуальная температурная компенсация для обеспечения стабильных измерений;
- Сигнал измерения нечувствителен к положению монтажа;
- Возможна установка дисплея для единиц измерения давления, установленных параметров точки и рабочего состояния;
- LED кольцо для индикации состояния датчика.
Применение:
- Общее измерение вакуума и контроль от низкого до среднего вакуума;
- Контроль датчиков ионизации высокого вакуума;
- Аналитическое оборудование;
- Исследования и разработки;
- Вакуумная сушка;
- Вакуумные печи и спекание;
- Перерабатывающая промышленность.