Ионизационный вакуумметр с накалённым катодом ULVAC SH200-E, 5,0×10⁻⁸ … 1,0×10⁵ Па

по запросу

Количество

Производитель: ULVAC
Код:SH200-E

Характеристики

Технические характеристики
Модель	SH200-E
Принцип измерения	Ионизационный, накалённый катод (Байярд-Альперт)
Точность	5,0×10⁻⁸ … 4,0×10⁻¹ Па: ±15%; 4,0×10⁻¹ … 3,0×10⁰ Па: ±10‐±15%; 3,0×10⁰ … 1,0×10⁴ Па: ±10%; 1,0×10⁴ … 3,0×10⁵ Па: ±3%полной шкалы(3,0×10³ Па･базовая температура: 25°C)
Напряжение питания, В	20…28 В пост. тока (пульсации, шум 1% не более) не более 8 Вт
Интерфейс	EtherCAT
Диапазон измерения мбар (торр)	5,0×10⁻⁸ … 1,0×10⁵ Па
Производитель	ULVAC
Класс защиты	IP30
Артикул	SH200-E

Описание

ULVAC SH200-E — ионизационный вакуумметр с накалённым катодом производства ULVAC (Япония). Принцип измерения: ионизационный, накалённый катод (Байярд-Альперт).

Технические характеристики

тип: исполнение с интерфейсом EtherCAT;
подключаемые датчики: мультиионизационный датчик SH200: 1; измерительный блок вакуумметра Пирани SWU10-R: 1 (опция); блок датчика давления SAU: 1 (опция);
воспроизводимость (по N₂): SH200 простой режим: ±2%;
время выборки: 60 мс, 5x скользящее среднее;
выход измеренного значения: выходное напряжение: 0 … 10 В пост. тока, логарифмический выход: 0,75 В/1 декада; формула пересчёта давления: В=7,25+0,75×(LogP-2) P=10^{(V-7,25)/0,75+2};
время обновления: 60 мс;
интерфейс связи: EtherCAT;
светодиодная индикация: POWER: питание, ERROR LED (мигание и цвет зависят от режима);
ток эмиссии: 1 мА (1×10⁻³ Па и ниже), 10мкА (1×10⁻³ Па и выше);
метод обезгаживания: электронная бомбардировка 1 мА, 330 В;
максимальное давление датчика: 2×10⁵ Па (1,5×10³ Торр, 2×10³ мбар) (абсолютное давление); стойкость к давлению фланцевого соединения и хомута обеспечивается отдельно;
внутренний объём датчика: 17 см³(M-44), 19 см³(M-45), 17 см³(M-46);
рабочая температура: 10 … 50°C ;
рабочая влажность: 15 … 80% (без конденсата);
температура хранения: -20 … 65°C (без подачи питания, без конденсата);
степень защиты: IP30;
напряжение питания: 20…28 В пост. тока (пульсации, шум 1% не более) не более 8 Вт;
разъём ввода-вывода: D-sub15-конт. (резьба M2,6);
масса: измерительный блок: прибл. 280 г, измерительная головка (M-44/45): 80 г, (M-46): 300 г;
габаритные размеры (Ш×Г×В): 69 мм×63 мм×90 мм (измерительный блок только);
соответствие стандартам: CE;
разъём: разъём ввода-вывода (D-sub15-гнездо(резьба M2,6 мм));
режим работы: SH200-A/SH200-R/SH200-E; ＋SWU10-R＋SAU; тройной комбинированный режим;
диапазон измерения: 5,0×10⁻⁸ … 1,0×10⁵ Па;
погрешность: 5,0×10⁻⁸ … 4,0×10⁻¹ Па: ±15%; 4,0×10⁻¹ … 3,0×10⁰ Па: ±10‐±15%; 3,0×10⁰ … 1,0×10⁴ Па: ±10%; 1,0×10⁴ … 3,0×10⁵ Па: ±3%полной шкалы(3,0×10³ Па･базовая температура: 25°C);
производитель: ULVAC (Япония).