Вакуумный агрегат Edwards iXH610, сухой насос + Рутс, 665 м³/ч
- по запросу
- Производитель: Edwards
- Код:ACB102121100
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Электропитание | 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц |
| Быстрота действия, м³/ч | 665 |
| Соединение вход, Н/П | ISO100 |
| Соединение выход, Н/П | NW40 |
| Производитель | Edwards |
| Уровень шума, дБ (А) | 64 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, Па | 0,5 |
| Размеры, Д×Ш×В | 784×390×780 мм |
| Масса, кг | 355 |
| Артикул | ACB102121100 |
Описание
Edwards iXH610 — сухой вакуумный агрегат в едином корпусе: механический бустер Рутса и многоступенчатый сухой насос (iXH100) с общим управлением и охлаждением.
Каталожные номера Edwards: AC1102121100 — 200-230 В 50/60 Гц; ACB102121100 — 380-460 В 50/60 Гц.
Особенности
- сухой многоступенчатый насос с водяным охлаждением: в камере откачки нет масла — чистый вакуум без загрязнения процесса
- рассчитан на тяжёлые технологические процессы полупроводникового, дисплейного и солнечного производства, напыления и химии
- модули подачи азота (продувка уплотнений, входа и выхлопа) под конкретный процесс
- управление с передней панели, выносного терминала, по Ethernet или от технологического оборудования (MicroTIM); энергосберегающий режим
- рабочее давление на входе — от атмосферы до предельного, непрерывная работа
Технические характеристики
- быстрота действия: 665 м³/ч;
- предельное давление: 5×10⁻³ мбар (3,7×10⁻³ Торр);
- потребляемая мощность при предельном давлении: 2,6 кВт;
- двигатели: сухой насос 4,5 кВт, бустер 1,9 кВт;
- питание: 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц;
- входной фланец: ISO100; выхлоп: NW40;
- охлаждение: водяное; вода 10-30 °C; подключения 3/8" BSP быстроразъёмные; расход воды 3 л/мин;
- азот: 1/4" трубный фитинг; давление N2 2,5-6,9 бар изб.;
- уровень шума: 64 дБ(А);
- габариты (Д×Ш×В): 784×390×780 мм;
- масса: 355 кг.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подберём исполнение, газовый модуль и аксессуары под ваш процесс.
Цены указаны в рублях с учётом НДС 22%.
