Вакуумный агрегат Edwards iXH6045H, сухой насос + Рутс, 5000 м³/ч
- по запросу
- Производитель: Edwards
- Код:AC7D02123310
iXH6045H, Edwards iXH6045H, AC7D02123310, агрегат Рутс, спарка
| Технические характеристики | |
| Электропитание | 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц |
| Быстрота действия, м³/ч | 5000 |
| Соединение вход, Н/П | ISO250 |
| Соединение выход, Н/П | NW40 |
| Производитель | Edwards |
| Уровень шума, дБ (А) | 74 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, Па | <0,5 |
| Размеры, Д×Ш×В | 1080×517×966 мм |
| Масса, кг | 860 |
| Артикул | AC7D02123310 |
Edwards iXH6045H — сухой вакуумный агрегат в едином корпусе: механический бустер Рутса и многоступенчатый сухой насос (iXH450H) с общим управлением и охлаждением.
Каталожные номера Edwards: AC7D02123310 — LV, конкретная конфигурация (газовый модуль 2, без обратного клапана); ACHD02123310 — HV, конкретная конфигурация (газовый модуль 2, без обратного клапана).
Производитель не рекомендует эту модель для процессов с большим потоком коррозионных газов — для них подберём другое исполнение.
Особенности
- сухой многоступенчатый насос с водяным охлаждением: в камере откачки нет масла — чистый вакуум без загрязнения процесса
- рассчитан на тяжёлые технологические процессы полупроводникового, дисплейного и солнечного производства, напыления и химии
- модули подачи азота (продувка уплотнений, входа и выхлопа) под конкретный процесс
- управление с передней панели, выносного терминала, по Ethernet или от технологического оборудования (MicroTIM); энергосберегающий режим
- рабочее давление на входе — от атмосферы до предельного, непрерывная работа
Технические характеристики
- быстрота действия: 5000-5200 м³/ч; 5000 м³/ч для iXH6045HT;
- предельное давление: <5×10⁻³ мбар;
- потребляемая мощность при предельном давлении: 9,6 кВт (iXH6045HT);
- двигатели: сухой насос 11 кВт, бустер 7,5 кВт;
- питание: 3 фазы, 200-230 В или 380-460 В, 50/60 Гц;
- входной фланец: ISO250; выхлоп: NW40;
- охлаждение: водяное; вода 10-25 °C; подключения 3/8" BSP быстроразъёмные; расход воды 11-12 л/мин;
- азот: 1/4" трубный фитинг; давление N2 2,5-6,9 бар изб.;
- уровень шума: 74 дБ(А);
- габариты (Д×Ш×В): 1080×517×966 мм;
- масса: 860-865 кг; 864 кг (6045HT).
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подберём исполнение, газовый модуль и аксессуары под ваш процесс.
