Вакуумный агрегат Edwards iH600, сухой насос + Рутс, 518 м³/ч
- по запросу
- Производитель: Edwards
- Код:A590-20-946
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Электропитание | 3 фазы: 200/208 В 50/60 Гц; 380/415 В 50 Гц; 230 В 60 Гц; 460 В 60 Гц |
| Быстрота действия, м³/ч | 518 |
| Соединение вход, Н/П | ISO100 |
| Соединение выход, Н/П | NW40 |
| Производитель | Edwards |
| Уровень шума, дБ (А) | <67 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, Па | 0,2 |
| Размеры, Д×Ш×В | 776 (909)×390×839 мм |
| Масса, кг | 415 |
| Артикул | A590-20-946 |
Описание
Edwards iH600 — сухой вакуумный агрегат в едином корпусе: механический бустер Рутса и многоступенчатый сухой насос (HCDP80) с общим управлением и охлаждением.
Каталожные номера Edwards: A590-20-946 — 380/415 В, 50 Гц, 3 фазы; A590-20-945 — 200/208 В, 50/60 Гц, 3 фазы; A590-20-957 — 230 В, 60 Гц, 3 фазы; A590-20-908 — 460 В, 60 Гц, 3 фазы; A533-51-946 — 380/415 В 50 Гц (раннее исполнение, BOC Edwards); A533-51-945 — 200/208 В 50/60 Гц (раннее исполнение, BOC Edwards); A533-51-957 — 230 В 60 Гц (раннее исполнение, BOC Edwards); A533-51-908 — 460 В 60 Гц (раннее исполнение, BOC Edwards).
Особенности
- сухой многоступенчатый насос с водяным охлаждением двигателей: в камере откачки нет масла
- для процессов полупроводникового производства и других чистых и технологических применений
- продувка уплотнения вала и газовых модулей азотом
- управление с терминала PDT, интерфейс iTIM, сеть LON, система контроля выхлопа
- серия iH на сайте Edwards заменена серией iXH — наличие новых насосов и восстановленных уточним при запросе
Технические характеристики
- быстрота действия: 518 м³/ч (50 Гц) / 600 м³/ч (60 Гц);
- предельное давление: 2×10⁻³ мбар (50 Гц) / 7×10⁻⁴ мбар (60 Гц);
- потребляемая мощность при предельном давлении: 3,1 кВт (50 Гц) / 3,4 кВт (60 Гц);
- двигатели: HCDP 2,9/3,5 кВт + HCMB 2,2/2,6 кВт (50/60 Гц); номинал 5,1/6,1 кВт;
- питание: 3 фазы: 200/208 В 50/60 Гц; 380/415 В 50 Гц; 230 В 60 Гц; 460 В 60 Гц;
- входной фланец: ISO100; выхлоп: NW40;
- охлаждение: водяное, 10-30 °C, 36-100 psig; подключения 3/8" BSP быстроразъёмные; расход воды 4 л/мин;
- азот: 1/4" трубный фитинг; N2 1,4-6,9 бар изб.; расход 44 slm (HTX 76); уплотнение вала 4 slm;
- уровень шума: <67 дБ(А);
- габариты (Д×Ш×В): 776 (909)×390×839 мм;
- масса: 415 кг.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подберём исполнение, газовый модуль и аксессуары под ваш процесс.
Цены указаны в рублях с учётом НДС 22%.
