Турбомолекулярный насос FF-160/620F с воздушным охлаждением (ISO-K160)
- по запросу
| Технические характеристики | |
| Входной фланец | KF40 |
| Рабочее положение | Вертикальное ±5° |
| Время старта, мин | 7 |
| Вес, кг | 29 |
| Аналог HTC | KYKY |
| Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Охлаждение | Водяное и воздушное |
| Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁶ |
| Скорость откачки, л/cек | 600 |
| Входной фланец | ISO-K160 |
| Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
| Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
| Тип смазки подшипников | Маслянная ванна |
| Степень сжатия по азоту | 10⁹ |
| Степень сжатия по водороду | 10³ |
| Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
| Рекомендуемая производительность форнасоса, м3/ч | 4~8 |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 27000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY серии F усовершенствованы на основе обычного турбонасоса, а способ охлаждения изменен
с обычного метода водяного охлаждения на метод воздушного охлаждения. В
настоящее время существует три типа турбонасосов серии F, а скорость перекачки составляет 620 л/ с, 700 л / с
и 1300 л / с соответственно.
Преимущества:
ü
Воздушное и водяное охлаждение
ü
Компактная конструкция
ü
Простота в использовании
Применение:
Турбонасосы серии F в
основном используются для промышленного обнаружения утечек, PVD, CVD, ионной
имплантации, вакуумной электронной производство компонентов, низкоэмиссионное
стекло, стекло ITO, оптические покрытия, солнечные элементы, электронно-лучевая
сварка, вакуумные печи и другие отрасли промышленности.
Вместе с насосом поставляется контроллер. К данной модели подходят контроллеры: FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II
