Турбомолекулярный насос CXF-320/3000 (ISO-F320)
- по запросу
| Технические характеристики | |
| Входной фланец | KF50 |
| Рабочее положение | любое |
| Время старта, мин | 18 |
| Вес, кг | 70 |
| Аналог HTC | KYKY |
| Контроллер в комплекте | CXF-3000 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁶ |
| Скорость откачки, л/cек | 3000 |
| Входной фланец | ISO-K320 |
| Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
| Температура охлаждающнй воды, С | <20 |
| Тип смазки подшипников | Магнитный подвес |
| Степень сжатия по азоту | 10⁸ |
| Степень сжатия по водороду | 10³ |
| Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 21000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY с магнитным подвесом это насосы, вращение вала которых поддерживается за счет магнитной силы. Молекулярные насосы серии magnetically levirated - это оборудование для создания вакуума, разработанное компанией KYKY для соответствия прикладным требованиямобластей современного производства полупроводников, производства микросхем. Насосы со скоростью откачки 1400 Л/с- 3000 Л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10 Па и тремя типами фланцев ISO-K, ISO-F и ISO-CF.
Технологии:
Технология управления магнитным подшипником: эта конструкция может иметь динамический отклик и своевременную регулировку, стабильную левитацию.
Технология управления приводом двигателя: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к насосам серии с магнитной левитацией, чтобы обеспечить максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, бесперебойную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
Технология ротора из композитного углеродного волокна: Насосы даннной серии изготовлены путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевых сплавов, данная конструкция характеризуется значительным снижением веса и значительным повышением прочности, так что достигаются цели высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.
Технология защиты от коррозии: Поверхности деталей в камерах серийных моллекулярных насосов с магнитной подвеской обрабатываются специальным способом, чтобы поверхности могли противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в полупроводниковых производственных процессах. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполняют валы насосов для защиты деталей с низким вакуумом в насосах, так что реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.
Система контроля температуры нагрева: Насосы оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, что позволяет контролировать охлаждение воды, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами. Некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальных температуре и не осаждается в насосах, и могут быть выполнены требования к специальному процессу, такому как травление.
Преимущества:
ü Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление
ü Легко получить действительно чистый высокий и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов
ü Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени
ü Превосходная способность к экстракции веществ, которые являются твердыми при нормальной температуре и газообразными во время процесса, при длительной безопасной эксплуатации
ü Любое монтажное положение
ü Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков
ü Разнообразие интегрированных режимов управления обеспечивается благодаря множеству интерфейсов для внешнего управления и связи контроллера.
Применение:
Молекулярные насосы с магнитным подвесом в основном применяются в области производства полупроводников, изготовления зажимов, промышленного нанесения покрытий и в научных приборах, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации.
Вместе с насосом поставляется контроллер. К данной модели подходят контроллеры: CXF-3000.
