Технические характеристики | |
Входной фланец | KF50 |
Рабочее положение | Вертикальное ±5° |
Время старта, мин | 8 |
Вес, кг | 50 |
Аналог HTC | KYKY |
Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
Охлаждение | Водяное |
Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁷ |
Скорость откачки, л/cек | 1600 |
Входной фланец | CF250 |
Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
Тип смазки подшипников | Маслянная ванна |
Степень сжатия по азоту | 10⁸ |
Степень сжатия по водороду | 5*10³ |
Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
Скорость вращения ротора, об/мин | 24000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY серии G являются инновационными на основе обычного турбонасоса. Основным изменением является улучшение структуры движущихся частей и увеличение прочности движущихся частей. В настоящее время существует четыре типа турбонасосов серии G, скорость перекачки которых составляет 500 л/с, 1200 л/с, 1600 л/с и 3500 л/с соответственно.
Преимущества:
ü Способен выдерживать сильное воздействие газа
ü Стабильная производительность и длительный срок службы
ü Простое обслуживание и удобная эксплуатация
ü Отвечают требованиям суровых условий эксплуатации (высокая температура, пыль и т.д.)
Применение:
Турбонасосы серии G в основном используются в промышленном обнаружении утечек, PVD, CVD, ионной имплантации, производстве вакуумных электронных компонентов, низкоэмиссионном стекле, стекле ITO, оптических покрытиях, солнечных элементах, электронно-лучевой сварке, вакуумных печах и других отраслях промышленности.
Вместе с насосом поставляется контроллер. К данной модели подходят контроллеры: FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II.