Технические характеристики | |
Входной фланец | KF40 |
Рабочее положение | любое |
Время старта, мин | 9 |
Вес, кг | 31 |
Аналог HTC | KYKY |
Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
Охлаждение | Водяное |
Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁷ |
Скорость откачки, л/cек | 1300 |
Входной фланец | CF200 |
Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
Тип смазки подшипников | Консистентная |
Степень сжатия по азоту | 10⁹ |
Степень сжатия по водороду | 10³ |
Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
Рекомендуемая производительность форнасоса, м3/ч | 15 |
Скорость вращения ротора, об/мин | 24000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY серии N являются инновационными на основе обычного турбонасоса. Основным
усовершенствованием является никелирование основных компонентов и установка
продувочного устройства, благодаря которым насосы серии N хорошо подходят для
применения в агрессивных средах. В настоящее время существует шесть типов
турбонасосов серии N, а скорости перекачки составляют 620 Л/с, 700 Л/с, 1300
л/с, 1200 л/с, 1500 л/с, 3500 л/с соответственно.
Преимущества:
ü
Стабильная производительность и длительный срок
службы
ü
Простое обслуживание и удобная эксплуатация
ü
Отвечают требованиям суровых условий
эксплуатации (высокая температура, пыль, сильная коррозия и т.д.)
Применение:
Турбонасосы серии F в
основном используются для промышленного обнаружения утечек, PVD, CVD, ионной
имплантации, вакуумной электронной производство компонентов, низкоэмиссионное
стекло, стекло ITO, оптические покрытия, солнечные элементы, электронно-лучевая
сварка, вакуумные печи и другие отрасли промышленности.
Вместе с насосом
поставляется контроллер. К данной модели
подходят контроллеры: FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II.