Технические характеристики | |
Входной фланец | KF40 |
Рабочее положение | любое |
Время старта, мин | 7 |
Вес, кг | 24,5 |
Аналог HTC | KYKY |
Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
Охлаждение | Водяное и воздушное |
Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁸ |
Скорость откачки, л/cек | 700 |
Входной фланец | CF150 |
Диаметр, мм | 213 |
Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
Тип смазки подшипников | Консистентная |
Степень сжатия по азоту | 10⁹ |
Степень сжатия по водороду | 10⁶ |
Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
Рекомендуемая производительность форнасоса, м3/ч | 4~8 |
Скорость вращения ротора, об/мин | 36000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY серии F усовершенствованы на основе обычного турбонасоса, а способ охлаждения изменен
с обычного метода водяного охлаждения на метод воздушного охлаждения. В
настоящее время существует три типа турбонасосов серии F, а скорость перекачки составляет 620 л/ с, 700 л / с
и 1300 л / с соответственно.
Преимущества:
ü
Воздушное и водяное охлаждение
ü
Компактная конструкция
ü
Простота в использовании
Применение:
Турбонасосы серии F в
основном используются для промышленного обнаружения утечек, PVD, CVD, ионной
имплантации, вакуумной электронной производство компонентов, низкоэмиссионное
стекло, стекло ITO, оптические покрытия, солнечные элементы, электронно-лучевая
сварка, вакуумные печи и другие отрасли промышленности.
Вместе с насосом поставляется контроллер. К данной модели подходят контроллеры: