Турбомолекулярный насос FF-160/500G ударопрочный (CF160)
- по запросу
| Технические характеристики | |
| Входной фланец | KF40 |
| Рабочее положение | Вертикальное ±5° |
| Время старта, мин | 5 |
| Вес, кг | 29/423 |
| Аналог HTC | KYKY |
| Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁷ |
| Скорость откачки, л/cек | 500 |
| Входной фланец | CF160 |
| Диаметр, мм | 228 |
| Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
| Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
| Тип смазки подшипников | Маслянная ванна |
| Степень сжатия по азоту | 10 ⁸ |
| Степень сжатия по водороду | 6*10³ |
| Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
| Рекомендуемая производительность форнасоса, м3/ч | 4~8 |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 27000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY серии G являются инновационными на основе обычного
турбонасоса. Основным изменением является улучшение структуры движущихся частей
и увеличение прочности движущихся частей. В настоящее время существует четыре
типа турбонасосов серии G, скорость перекачки которых составляет 500 л/с, 1200
л/с, 1600 л/с и 3500 л/с соответственно.
Преимущества:
ü
Способен выдерживать сильное воздействие газа
ü
Стабильная производительность и длительный срок
службы
ü
Простое обслуживание и удобная эксплуатация
ü
Отвечают требованиям суровых условий
эксплуатации (высокая температура, пыль и т.д.)
Применение:
Турбонасосы серии G в основном используются в промышленном
обнаружении утечек, PVD, CVD, ионной имплантации, производстве вакуумных
электронных компонентов, низкоэмиссионном стекле, стекле ITO, оптических
покрытиях, солнечных элементах, электронно-лучевой сварке, вакуумных печах и
других отраслях промышленности.
Вместе с насосом поставляется контроллер. К данной модели подходят контроллеры: FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II.
