Технические характеристики | |
Входной фланец | ISO-K100 |
Рабочее положение | Вертикальное ±5° |
Время старта, мин | 18 |
Вес, кг | 130 |
Аналог HTC | KYKY |
Контроллер в комплекте | FD-III |
Охлаждение | Водяное |
Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁶ |
Скорость откачки, л/cек | 3600 |
Входной фланец | ISO-K400 |
Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
Тип смазки подшипников | Маслянная ванна |
Степень сжатия по азоту | 10⁸ |
Степень сжатия по водороду | 10² |
Уровень вибраций, мкм | < 0,5 |
Скорость вращения ротора, об/мин | 13500 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY серии G являются инновационными на основе обычного
турбонасоса. Основным изменением является улучшение структуры движущихся частей
и увеличение прочности движущихся частей. В настоящее время существует четыре
типа турбонасосов серии G, скорость перекачки которых составляет 500 л/с, 1200
л/с, 1600 л/с и 3500 л/с соответственно.
Преимущества:
ü
Способен выдерживать сильное воздействие газа
ü
Стабильная производительность и длительный срок
службы
ü
Простое обслуживание и удобная эксплуатация
ü
Отвечают требованиям суровых условий
эксплуатации (высокая температура, пыль и т.д.)
Применение:
Турбонасосы серии G в основном используются в промышленном
обнаружении утечек, PVD, CVD, ионной имплантации, производстве вакуумных
электронных компонентов, низкоэмиссионном стекле, стекле ITO, оптических
покрытиях, солнечных элементах, электронно-лучевой сварке, вакуумных печах и
других отраслях промышленности.
Вместе с насосом поставляется
контроллер. К данной модели подходят контроллеры: FD-III.