Технические характеристики | |
Входной фланец | KF50 |
Рабочее положение | Вертикальное ±5° |
Время старта, мин | 8 |
Вес, кг | 60 |
Аналог HTC | KYKY |
Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
Охлаждение | Водяное |
Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁶ |
Скорость откачки, л/cек | 1500 |
Входной фланец | ISO-K250 |
Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
Тип смазки подшипников | Маслянная ванна |
Степень сжатия по азоту | 10⁸ |
Степень сжатия по водороду | 5*10⁸ |
Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
Рекомендуемая производительность форнасоса, м3/ч | 15 |
Скорость вращения ротора, об/мин | 21000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY серии N являются инновационными на основе обычного турбонасоса. Основным усовершенствованием является никелирование основных компонентов и установка продувочного устройства, благодаря которым насосы серии N хорошо подходят для применения в агрессивных средах. В настоящее время существует шесть типов турбонасосов серии N, а скорости перекачки составляют 620 Л/с, 700 Л/с, 1300 л/с, 1200 л/с, 1500 л/с, 3500 л/с соответственно.
Преимущества:
ü Стабильная производительность и длительный срок службы
ü Простое обслуживание и удобная эксплуатация
ü Отвечают требованиям суровых условий эксплуатации (высокая температура, пыль, сильная коррозия и т.д.)
Применение:
Турбонасосы серии F в основном используются для промышленного обнаружения утечек, PVD, CVD, ионной имплантации, вакуумной электронной производство компонентов, низкоэмиссионное стекло, стекло ITO, оптические покрытия, солнечные элементы, электронно-лучевая сварка, вакуумные печи и другие отрасли промышленности.
Вместе с насосом поставляется контроллер. К данной модели подходят контроллеры: FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II.