Технические характеристики | |
Входной фланец | KF50 |
Рабочее положение | Вертикальное ±5° |
Время старта, мин | 8 |
Вес, кг | 63/457 |
Аналог HTC | KYKY |
Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
Охлаждение | Водяное |
Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁷ |
Скорость откачки, л/cек | 1500 |
Входной фланец | CF250 |
Диаметр, мм | 290 |
Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
Тип смазки подшипников | Маслянная ванна |
Степень сжатия по азоту | 10⁸ |
Степень сжатия по водороду | 5*10³ |
Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
Рекомендуемая производительность форнасоса, м3/ч | 15 |
Скорость вращения ротора, об/мин | 21000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY с масляной смазкой - это компактные и
высокопроизводительные насосы, разработанные компанией KYKY. Скорость данных
турбонасосов колеблется от 150 Л/с до 3600 Л/с. Преимущества насосов с масляной
смазкой отличаются компактной конструкцией, удобной эксплуатацией, гибкой установкой,
широким диапазоном применения и стабильностью.
Преимущества:
ü
Хорошая производительность в различных условиях
окружающей среды (высокая температура, пыль и т.д.).
ü
Стабильная производительность и длительный срок
службы
ü
Простое обслуживание, удобная эксплуатация
ü
Широкий спектр применения
Применение:
Серия
молекулярных насосов с масляной смазкой в основном используется в промышленном
обнаружении утечек, PVD, CVD, ионной имплантации, оптическом покрытии, электронно-лучевую
сварку, вакуумных печах, производстве вакуумных электронных компонентов,
низкоэмиссионного стекла, стекла ITO, солнечных элементов и другие отрасли
промышленности.
Насосы
серии C и B спроектированны
так, что у них предельное остаточное давление.
Вместе с насосом поставляется
контроллер. К данной модели подходят
контроллеры: FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II.