Турбомолекулярный насос FF-160/620C с пониженным предельным остаточным давлением (ISO-K160)
- по запросу
| Технические характеристики | |
| Входной фланец | KF40 |
| Рабочее положение | Вертикальное ±5° |
| Время старта, мин | 6 |
| Вес, кг | 29/423 |
| Аналог HTC | KYKY |
| Контроллер в комплекте | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, мбар | 6*10⁻⁷ |
| Скорость откачки, л/cек | 600 |
| Входной фланец | ISO-K160 |
| Диаметр, мм | 228 |
| Расход охлаждающей воды, л/ч | 60 |
| Температура охлаждающнй воды, С | <25 |
| Тип смазки подшипников | Маслянная ванна |
| Степень сжатия по азоту | 10⁹ |
| Степень сжатия по водороду | 10⁴ |
| Уровень вибраций, мкм | < 0,1 |
| Рекомендуемая производительность форнасоса, м3/ч | 4~8 |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 36000 |
Турбомолекулярные вакуумные насосы KYKY с масляной смазкой - это компактные и
высокопроизводительные насосы, разработанные компанией KYKY. Скорость данных
турбонасосов колеблется от 150 Л/с до 3600 Л/с. Преимущества насосов с масляной
смазкой отличаются компактной конструкцией, удобной эксплуатацией, гибкой установкой,
широким диапазоном применения и стабильностью.
Преимущества:
ü
Хорошая производительность в различных условиях
окружающей среды (высокая температура, пыль и т.д.).
ü
Стабильная производительность и длительный срок
службы
ü
Простое обслуживание, удобная эксплуатация
ü
Широкий спектр применения
Применение:
Серия
молекулярных насосов с масляной смазкой в основном используется в промышленном
обнаружении утечек, PVD, CVD, ионной имплантации, оптическом покрытии, электронно-лучевую
сварку, вакуумных печах, производстве вакуумных электронных компонентов,
низкоэмиссионного стекла, стекла ITO, солнечных элементов и другие отрасли
промышленности.
Насосы
серии C и B спроектированны
так, что у них предельное остаточное давление.
Вместе с насосом поставляется контроллер. К данной модели подходят контроллеры:
