Турбомолекулярный вакуумный насос MTP-3201СТ с магнитным подвесом, ISO320F
- по запросу
- Производитель: CBVAC
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Монтажное положение | Произвольное |
| Быстрота действия (л/с), N₂ | 3200 |
| Быстрота действия (л/с), Ar | 2800 |
| Быстрота действия (л/с), H₂ | 2300 |
| Впускной фланец | ISO-F320 |
| Степень сжатия, N₂ | > 2,0×10³ |
| Степень сжатия, H₂ | > 2,0х10³ |
| Частота вращения (об./мин) | 27700 |
| Частота вращения в режиме ожидания (об./мин) | прибл. 5000 |
| Расход продувочного азота (ст. куб. см/мин) | 50 |
| Температура обезгаживания впускного фланца (°C) | <120 |
| Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса (л/мин) | >1300 |
| Время разгона | ≤ 10 мин. |
| Время замедления | <16 мин. |
| Степень защиты | IP54 |
| Производитель | CBVAC |
| Температура хранения, ºС | -25…+55 |
| Охлаждение | Водяное |
| Предельное остаточное давление, Па | 10⁻⁷ |
| Уровень шума, Дб | <55 (27 700 об./мин) |
| Масса, кг | 87 |
| Температура эксплуатации (⁰С) | 0…+40 |
Описание
Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом,
представленные в серии MTP, имеют встроенный контроллер, отличаются высокой
быстротой действия, стабильностью работы, коррозионной стойкостью и простотой
монтажа. Эти изделия широко применяются при производстве полупроводниковых
приборов, например для напыления тонкопленочных покрытий, травления и ионной
имплантации.
Инструкции и документы
 |
MTP 1.pdf Размер: 2.13MB |
Цены указаны в рублях с учётом НДС 22%.
