Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе Edwards STP-XA4503C, фланец ISO320F, 4000 л/с
- по запросу
- Производитель: Edwards
- Код:YT670Z040
YT670Z040, Edwards STP-XA4503C, STP-XA4503C ISO320F, турбомолекулярный насос STP-XA4503C
| Технические характеристики | |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Впускной фланец | ISO-F320 |
| Напряжение электропитания, В | 200–240 В перем. тока |
| Рабочее положение | любое |
| Производитель | Edwards |
| Контроллер в комплекте | отдельный блок SCU-1600 |
| Охлаждение | водяное |
| Предельное остаточное давление, мбар | <10⁻⁹ |
| Быстрота действия, л/с | 4000 |
| Тип смазки подшипников | Магнитный подвес |
| Степень сжатия по азоту | >10⁸ |
| Масса, кг | ≈105 |
| Артикул | YT670Z040 |
Edwards STP-XA4503C — самый производительный насос линейки STP-XA на магнитном подвесе: класс 4500 л/с, входной фланец ISO320F, для крупных технологических камер травления и осаждения.
Исполнение: входной фланец ISO320F, выход на форвакуум KF40. Каталожный номер Edwards YT670Z040.
Тип опоры ротора: активный магнитный подвес (5 осей), без смазки.
Особенности
- пятиосевой активный магнитный подвес ротора — нет смазки и механического контакта, поэтому откачка полностью безмасляная и практически без вибраций
- турбоступени + ступень Холвека: высокая пропускная способность по газу при технологических давлениях (до ~2300 sccm), рассчитан на процессы травления, имплантации, литографии, производство LCD
- система управления температурой корпуса (TMS) со встроенным нагревателем и датчиком — уменьшает осаждение продуктов реакции
- совместим с агрессивными процессами: допускается откачка хлор- и фторсодержащих газов при продувке азотом
- необслуживаемая конструкция, монтаж в любой ориентации; отдельный блок управления SCU-1600 (200–240 В)
Технические характеристики
- быстрота действия: N₂ — 4000 л/с;
- степень сжатия: N₂ >10⁸;
- предельное остаточное давление: <10⁻⁹ мбар;
- питание: 200–240 В перем. тока, через блок SCU-1600;
- масса насоса: ≈105 кг.
Комплектация (длина кабелей, исполнение TMS, вариант блока управления) уточняется при заказе.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подтвердим наличие и сроки, подберём форвакуумный насос, контроллер и аксессуары под вашу систему.
-450x450.png "Затвор высоковакуумный GCQ-C400, ISO-K400 пневмопривод, нержавеющая сталь 304, CBVAC")
