Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе Edwards STP-XA3203C, фланец CF320, 3200 л/с
- по запросу
- Производитель: Edwards
- Код:YT660Z080
YT660Z080, Edwards STP-XA3203C, STP-XA3203C CF320, турбомолекулярный насос STP-XA3203C
| Технические характеристики | |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Впускной фланец | CF320 |
| Напряжение электропитания, В | 200–240 В ±10% перем. тока |
| Рабочее положение | любое |
| Производитель | Edwards |
| Время старта, мин | 8 |
| Контроллер в комплекте | отдельный блок SCU-1600 |
| Охлаждение | водяное |
| Предельное остаточное давление, мбар | <10⁻⁹ |
| Быстрота действия, л/с | 3200 |
| Тип смазки подшипников | Магнитный подвес |
| Степень сжатия по азоту | >10⁸ |
| Степень сжатия по водороду | 6·10³ |
| Масса, кг | 80 (блок SCU-1600 — 12) |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 27 500 |
| Артикул | YT660Z080 |
Edwards STP-XA3203C — турбомолекулярный насос на пятиосевом магнитном подвесе для полупроводниковых и дисплейных технологий: 3200 л/с по N₂, входной фланец DN320.
Исполнение: входной фланец CF320, выход на форвакуум KF40. Каталожный номер Edwards YT660Z080.
Тип опоры ротора: активный магнитный подвес (5 осей), без смазки.
Особенности
- пятиосевой активный магнитный подвес ротора — нет смазки и механического контакта, поэтому откачка полностью безмасляная и практически без вибраций
- турбоступени + ступень Холвека: высокая пропускная способность по газу при технологических давлениях (до ~2300 sccm), рассчитан на процессы травления, имплантации, литографии, производство LCD
- система управления температурой корпуса (TMS) со встроенным нагревателем и датчиком — уменьшает осаждение продуктов реакции
- совместим с агрессивными процессами: допускается откачка хлор- и фторсодержащих газов при продувке азотом
- необслуживаемая конструкция, монтаж в любой ориентации; отдельный блок управления SCU-1600 (200–240 В)
Технические характеристики
- быстрота действия: N₂ — 3200 л/с, Ar — 2800 л/с, H₂ — 2300 л/с;
- степень сжатия: N₂ >10⁸, H₂ 6·10³;
- предельное остаточное давление: <10⁻⁹ мбар (после прогрева);
- частота вращения ротора: 27 500 об/мин;
- допустимое давление форвакуума: до 2,66 мбар (266 Па);
- допустимый поток газа: до 3000 sccm N₂ / 2000 sccm Ar (с водяным охлаждением);
- время разгона до рабочей скорости: 8 мин;
- рекомендуемый форвакуумный насос: от 1300 л/мин;
- питание: 200–240 В ±10% перем. тока, через блок SCU-1600;
- потребляемая мощность: 1,5 кВА;
- масса насоса: 80 (блок SCU-1600 — 12) кг.
Комплектация (длина кабелей, исполнение TMS, вариант блока управления) уточняется при заказе.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подтвердим наличие и сроки, подберём форвакуумный насос, контроллер и аксессуары под вашу систему.
-450x450.png "Затвор высоковакуумный GC-C320, GB-LP320 ручной привод, нержавеющая сталь 304, CBVAC")
