Криогенный насос SHI Cryogenics SICERA KZ-8L, ICF 253, 4 000 л/с по воде
- по запросу
- Производитель: SHI Cryogenics
- Код:SICERA KZ-8L
SICERA KZ-8L, SHI Cryogenics SICERA KZ-8L, крионасос SICERA KZ-8L, SICERA KZ-8L
| Технические характеристики | |
| Модель | SICERA KZ-8L |
| Монтажный фланец | ICF 253 (KZ-8L3C/S) или ANSI 6" (KZ-8L3N) |
| Быстрота действия (л/с), N₂ | 1 500 |
| Емкость | Ar — 1 000 ст. л; H₂ — 12 (каталог 2016 общий) / 16 (каталог SICERA) ст. л |
| Быстрота действия (л/с), Ar | 1 200 |
| Быстрота действия (л/с), H₂ | 2 200 |
| Быстрота действия (л/с), H₂O | 4 000 |
| Время охлаждения (мин) | 70 (KZ-8L3C/S), 80 (KZ-8L3N) |
| Масса крионасоса (кг) | 32 |
| Модель согласованного компрессора | CSW-61C/D |
| Производитель | SHI Cryogenics |
SHI Cryogenics SICERA KZ-8L — интеллектуальный криогенный насос SICERA (SHI, Япония) с инверторным управлением криоголовкой и компрессором — для полупроводникового производства и PVD.
Модель снята с производства. Актуальная замена — SICERA Smart KZ-08 (ICF253; вода 4000, Ar 1200, N2 1500, H2 2200 л/с; ёмкость Ar 1600/H2 12 ст.л; ≤75 мин; 28 кг). Поставим преемника или, при наличии, исходную модель — напишите нам.
Особенности
- инверторное управление: насос сам подстраивает частоту вращения криоголовки под нагрузку и экономит электроэнергию
- полностью автоматическая регенерация — прогрев без внутренних нагревателей, запатентованная ускоренная регенерация, самодиагностика
- один компрессор CSW-61 обслуживает до пяти насосов; управление по RS-485 через Remote Cryopump Controller
- межсервисный интервал около 12 000 ч
Технические характеристики
- входной фланец: ICF 253 (KZ-8L3C/S) или ANSI 6" (KZ-8L3N);
- быстрота действия: пары воды — 4 000 л/с, N₂ — 1 500 л/с, Ar — 1 200 л/с, H₂ — 2 200 л/с;
- ёмкость: Ar — 1 000 ст. л, H₂ — 12 (каталог 2016 общий) / 16 (каталог SICERA) ст. л;
- пропускная способность по Ar: 8,8 Торр·л/с;
- допустимый газовый выброс при открытии (crossover): 150 Торр·л;
- время захолаживания: 70 (KZ-8L3C/S), 80 (KZ-8L3N) мин;
- гелиевый компрессор: CSW-61C/D (в комплекте с Remote Cryopump Controller, RS-485);
- энергопотребление: Инверторное управление криоголовкой и компрессором; на насос ≈0,98 кВт при 5 насосах на компрессор … 3,5 кВт при 1 насосе;
- габариты: 230×415×615 мм;
- интервал обслуживания: около 12 000 ч;
- масса насоса: 32 кг.
Крионасос поставляется как система: насос, гелиевый компрессор, гибкие гелиевые магистрали, кабель и при необходимости контроллер. Комплектацию под вашу установку подберём по запросу.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подтвердим сроки, подберём компрессор, магистрали и клапаны под вашу камеру.
