Криогенный насос SHI Cryogenics SICERA KZ-12L, ANSI 10", 9 500 л/с по воде
- по запросу
- Производитель: SHI Cryogenics
- Код:SICERA KZ-12L
SICERA KZ-12L, SHI Cryogenics SICERA KZ-12L, крионасос SICERA KZ-12L, SICERA KZ-12L
| Технические характеристики | |
| Модель | SICERA KZ-12L |
| Монтажный фланец | ANSI 10" |
| Быстрота действия (л/с), N₂ | 3 300 |
| Емкость | Ar — 2 000 ст. л; H₂ — 35 ст. л |
| Быстрота действия (л/с), Ar | 3 500 |
| Быстрота действия (л/с), H₂ | 5 500 |
| Быстрота действия (л/с), H₂O | 9 500 |
| Время охлаждения (мин) | 100 |
| Масса крионасоса (кг) | 40 |
| Модель согласованного компрессора | CSW-61C/D |
| Производитель | SHI Cryogenics |
SHI Cryogenics SICERA KZ-12L — интеллектуальный криогенный насос SICERA (SHI, Япония) с инверторным управлением криоголовкой и компрессором — для полупроводникового производства и PVD.
Модель снята с производства. Актуальная замена — SICERA Smart KZ-12 (ISO 320; PVD: вода 11000, Ar 3000, N2 3600, H2 4800 л/с, ёмкость Ar 5000 ст.л, 53 кг; Ion Implant: Ar 3470, N2 4470, H2 11330, 32 кг). Поставим преемника или, при наличии, исходную модель — напишите нам.
Особенности
- инверторное управление: насос сам подстраивает частоту вращения криоголовки под нагрузку и экономит электроэнергию
- полностью автоматическая регенерация — прогрев без внутренних нагревателей, запатентованная ускоренная регенерация, самодиагностика
- один компрессор CSW-61 обслуживает до пяти насосов; управление по RS-485 через Remote Cryopump Controller
- межсервисный интервал около 12 000 ч
Технические характеристики
- входной фланец: ANSI 10";
- быстрота действия: пары воды — 9 500 л/с, N₂ — 3 300 л/с, Ar — 3 500 л/с, H₂ — 5 500 л/с;
- ёмкость: Ar — 2 000 ст. л, H₂ — 35 ст. л;
- пропускная способность по Ar: 11,3 Торр·л/с;
- допустимый газовый выброс при открытии (crossover): 150 Торр·л;
- время захолаживания: около 100 мин;
- гелиевый компрессор: CSW-61C/D (в комплекте с Remote Cryopump Controller, RS-485);
- энергопотребление: Инверторное управление криоголовкой и компрессором; на насос ≈0,98 кВт при 5 насосах на компрессор … 3,5 кВт при 1 насосе;
- габариты: 230×518×689 мм;
- интервал обслуживания: около 12 000 ч;
- масса насоса: 40 кг.
Крионасос поставляется как система: насос, гелиевый компрессор, гибкие гелиевые магистрали, кабель и при необходимости контроллер. Комплектацию под вашу установку подберём по запросу.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подтвердим сроки, подберём компрессор, магистрали и клапаны под вашу камеру.
