logo
Криогенный насос SHI Cryogenics Marathon CP-20, ISO 500, 29 100 л/с по воде

Криогенный насос SHI Cryogenics Marathon CP-20, ISO 500, 29 100 л/с по воде

  • по запросу

Marathon CP-20, SHI Cryogenics Marathon CP-20, крионасос Marathon CP-20, Marathon CP-20

Характеристики
Технические характеристики
Модель Marathon CP-20
Монтажный фланец ISO 500 / ANSI 20" / Wire Seal
Быстрота действия (л/с), N₂ 9 700 (воздух)
Емкость Ar — 6 000 ст. л; H₂ — 33 ст. л
Быстрота действия (л/с), Ar 8 300
Быстрота действия (л/с), H₂ 14 000
Быстрота действия (л/с), H₂O 29 100
Время охлаждения (мин) 190
Масса крионасоса (кг) 77,1
Модель согласованного компрессора F-70L/H
Производитель SHI Cryogenics
Описание

SHI Cryogenics Marathon CP-20 — криогенный насос серии Marathon производства SHI Cryogenics (США) — надёжная классика для напыления, ионной имплантации, электронно-лучевых и исследовательских установок.

Особенности

  • безмасляная откачка, высокая быстрота действия по воде и водороду
  • двухступенчатая криоголовка серии CH (Displex, у крупных моделей — с технологией тихой работы Whisper)
  • стандартно — ручное управление; с контроллером MCC доступна полная автоматизация, в том числе ускоренная регенерация и сокращённое захолаживание
  • обслуживание криоголовки на месте без вскрытия вакуумной системы, межсервисный интервал около 13 000 ч
  • в комплект системы входят гелиевый компрессор, гибкие гелиевые магистрали и кабель криоголовки

Технические характеристики

  • входной фланец: ISO 500 / ANSI 20" / Wire Seal;
  • быстрота действия: пары воды — 29 100 л/с, воздух — 9 700 л/с, Ar — 8 300 л/с, H₂ — 14 000 л/с;
  • ёмкость: Ar — 6 000 ст. л, H₂ — 33 ст. л;
  • пропускная способность по Ar: 11.3 torr·l/s (895 sccm);
  • допустимый газовый выброс при открытии (crossover): 400 Торр·л;
  • время захолаживания: около 190 мин;
  • криоголовка: CH-210 (Displex + Whisper);
  • гелиевый компрессор: F-70L/H;
  • габариты: H 569 мм;
  • интервал обслуживания: около 13 000 ч;
  • масса насоса: 77,1 кг.

Крионасос поставляется как система: насос, гелиевый компрессор, гибкие гелиевые магистрали, кабель и при необходимости контроллер. Комплектацию под вашу установку подберём по запросу.

Цена и срок поставки

Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подтвердим сроки, подберём компрессор, магистрали и клапаны под вашу камеру.

Цены указаны в рублях с учётом НДС 22%.
Яндекс.Метрика