Криогенный насос для напыления HSR VELCO 322S, DN320 ISO-K, 11 500 л/с по воде
- по запросу
- Производитель: HSR
- Код:VELCO 322S
VELCO 322S, HSR VELCO 322S, крионасос VELCO 322S, VELCO 322S
| Технические характеристики | |
| Модель | VELCO 322S |
| Монтажный фланец | DN 320 ISO-K |
| Быстрота действия (л/с), N₂ | 3 500 |
| Емкость | Ar — 2 500 бар·л |
| Быстрота действия (л/с), Ar | 3 000 |
| Быстрота действия (л/с), H₂ | 5 700 |
| Быстрота действия (л/с), H₂O | 11 500 |
| Время охлаждения (мин) | 100 |
| Модель согласованного компрессора | F-70 (SHI) |
| Производитель | HSR |
HSR VELCO 322S — исполнение VELCO для магнетронного напыления и других процессов с постоянным потоком аргона.
Характеристики приведены по каталогу HSR; текущее исполнение и данные подтверждаются при запросе.
Особенности
- устранён «эффект аргоновой памяти» — после регенерации нет выброса аргона, без дополнительных нагревателей
- рассчитан на длительную работу с потоком аргона и устойчив к прорывам воздуха
- корпус из алюминия или нержавеющей стали, есть бескорпусное (фланцевое) исполнение для встраивания в камеру
- двухступенчатая криоголовка, безмасляная откачка
Технические характеристики
- входной фланец: DN 320 ISO-K;
- быстрота действия: пары воды — 11 500 л/с, N₂ — 3 500 л/с, Ar — 3 000 л/с, H₂ — 5 700 л/с;
- ёмкость: Ar — 2 500 бар·л;
- поток аргона: до 1 000 sccm;
- время захолаживания: около 100 мин;
- гелиевый компрессор: F-70 (SHI).
Крионасос поставляется как система: насос, гелиевый компрессор, гибкие гелиевые магистрали, кабель и при необходимости контроллер. Комплектацию под вашу установку подберём по запросу.
Цена и срок поставки
Цена и срок поставки — по запросу. Оставьте заявку или позвоните нам: подтвердим сроки, подберём компрессор, магистрали и клапаны под вашу камеру.
