по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
по запросу
Магниторазрядные насосы нового поколения, при меньших размерах и более легком весе, обеспечивают получения сверхвысокого вакуума с более низким по сравнению с импортными аналогами предельным остаточным давлением. Насосы целенаправ..
Магниторазрядные насосы – высоковакуумные безмасляные
насосы, относящийся к геттерным насосам.
По принципу действия
выделяют два типа магниторазрядных насосов:
- диодные
магниторазрядные насосы:
- триодные
магниторазрядные насосы.
Принцип работы:
Принцип работы диодного
магниторазрядного насоса заключается в следующем. В вакууме в полости насоса
всегда присутствуют электроны. В электрическом и магнитном поле электроны
двигаются по спиралевидным траекториям в направлении от катода к аноду до тех
пор, пока не произойдет столкновение (столкновения) электрона с атомами газовой
среды. В результате таких столкновений происходит ионизация нейтрального атома.
Прежде чем электрон попадает на анод происходит несколько таких ионизирующих
столкновений (тем больше, чем выше давление). Образовавшиеся в результате таких
столкновений ионы двигаются к катодам, участвуя в образовании тока через
разрядные промежутки анод-катод. Двигаясь от анода к катоду, ионы ускоряются
под воздействием электрического поля. К моменту столкновения с катодом ионы
приобретают энергию, достаточную для выбивания атомов титана с поверхности
катода - поверхность катодов постоянно распыляется при работе насоса. Атомы
(молекулы) откачиваемого газа могут связываться на поверхностях материалов
вследствие следующих процессов (титан является активным геттером):
- при попадании атома
(молекулы) газа на поверхность катода могут происходить адсорбция, растворение
с образованием химических соединений;
- может происходить
внедрение попавших на катод ионов, в некоторых случаях возможна диффузия ионов
в материал катодов
- атомы титана, выбитые
с поверхности катодов, осаждаются на аноде и корпусе насоса; формирующиеся
таким способом пленки способны поглощать атомы (молекулы) газовой среды
Реализация того или иного механизма зависит от типа газа. Другие активные газы
поглощаются при участии всех указанных механизмов, однако основным является
хемосорбция газов титановой пленкой, непрерывно осаждающейся на аноде. Для
водорода значительна доля второго из перечисленных выше механизмов, т.к. он
легко диффундирует в объем титановых пластин с образованием различных
соединений и твердых растворов.
Для инертных газов
основным механизмом является механизм внедрения ионов в материал катода и, в
меньшей степени - внедрением в титановую пленку, которая осаждается на аноде
(для нейтральных или нейтрализованных на катоде атомов).
Механизм откачки
инертных газов - основной недостаток диодных насосов, т.к. поверхность катодов
постоянно распыляется и инертный газ, связанный на катоде, вновь освобождается.
Для компенсации этого недостатка в триодных насосах используются катоды с
ячеистой структурой. Атомы титана, выбиваемые ионами с поверхности, в
значительном количестве осаждаются на поверхности дополнительных электродов
(увеличивается доля инертного газа, удерживаемого осаждаемой титановой пленкой).
Количество ионов откачиваемого газа, достигающих поверхности дополнительных
электродов, меньше, во-вторых, они уже обладают энергией, достаточно для
распыления титановой пленки дополнительных электродов. Поэтому откачиваемый
инертный газ уже не выделяется с поверхности при работе насоса. Такая
конструкция позволяет увеличить быстроту откачки инертных газов, однако, она и
в этос случае не превышает 25-35% от скорости откачки активных газов.
Других преимуществ
триодные магниторазрядные насосы не имеют, и их следует выбирать только в том
случае, если быстрота откачки по инертным газам критична (например, в
установках для послойного анализа методами AES и SIMS).
Преимущества:
- нет подвижных деталей,
следовательно изнашивающихся частей в камере насоса;
- отсутствие шумов и
вибраций при работе;
- ток разряда приблизительно
пропорционален давлению в откачиваемом объеме - фактически
магниторазрядный насос является магниторазрядным датчиком с холодным
катодом и по току разряда можно оценивать давление в вакуумной системе;
- невысокая цена;
- надежность, большой
ресурс, при правильной эксплуатации практически не требует обслуживания.
Недостатки:
- высокая селективность
откачки по типу газа: магниторазрядные насосы плохо откачивают инертные
газы, это влияет на состав остаточной атмосферы в вакуумной камере;
- неспособны выдерживать
высокую газовую нагрузку;
- сложно прогревать насос
для обезгаживания по причине наличия постоянных магнитов;
- высокое напряжение питания
(5-7 кВ);
- долгий старт после напуска в
насос атмосферы;
- чувствительность к
загрязнениям, в том числе углеводородам (маслам).