| Технические характеристики | |
| Входной фланец | CF35/KF10 |
| Материал корпуса | нержавеющая сталь 304 |
| Вес, кг | 12.7/30/45.3/69.5 |
| Аналог HTC | CF35K10A |
Переходники CF-ISO применяются для совмещения фланцев разного типа.
Некоторые характеристики:
| Минимальная рабочая температура | -20°С |
| Максимальная рабочая температура | 150°C |
| Минимальное рабочее давление | 10-8 Торр |

