Маятниковые затворы компании Htc предназначены для использования в качестве дросселирующих затворов большого размера. Они устанавливаются между технологической вакуумной камерой и входным фланцем турбомолекулярного насоса. Выпускаемые в настоящее время маятниковые затворы имеют никелевое покрытие или твердое анодирование поверхности для повышения коррозионной стойкости и снижения образования пыли. Затворы оснащаются фланцами ISO 200 или ISO 250 и приводятся в действие с помощью пневматического привода, могут работать. в режиме автоматического программного управления. Маятниковые затворы применяются в оборудовании для изготовления органических светодиодов, плоских экранов и фотовольтаических преобразователей.
Маятниковые затворы с пневмоприводом
Устройство / характеристики
Низкий уровень вибрации
Простота разборки
Устойчивость к коррозии
Более высокий перепад давления
Меньше пыли