logo
Затвор высоковакуумный с водяным охлаждением GCQ, пневмопривод, CBVAC

Затвор высоковакуумный с водяным охлаждением GCQ, пневмопривод, CBVAC

  • по запросу
  • Производитель: CBVAC
  • Код:GCQ
Характеристики
Технические характеристики
Монтажное положение произвольное
Перепад давления перед открыванием затвора ≤ 2× 10³ Па в любом направлении
Величина течи в корпусе и основании затвора 1,3×10⁻⁷ Па·л·с⁻¹
Электропитание 220 В переменного тока 50 Гц,6 Вт или 24 В пост. тока,3 Вт
Температура обезгаживания корпуса затвора ≤150 °С.
Количество циклов до первого обслуживания 10000
Сжатый воздух 0,5~0,7 МПа
Индикаторы положения индикатор начального и конечного положения – герко
Привод пневмопривод
Время открытия/закрытия, сек в зависимости от размера затвора
Рабочее давление, Па 1×10⁻⁵ Па~1,2×10⁵ Па
Описание

Описание

Затворы этого модельного ряда имеют пневматический привод. Изделия этого модельного ряда отличает рациональная конструкция и превосходный внешний вид. Помимо этого, они имеют ряд преимуществ, а именно, прочность, низкую вибрацию после ударной нагрузки, долговечность, надежную герметизацию, продолжительный срок службы и других. В результате, использование таких затворов является приоритетным решением для автоматизированного вакуумного оборудования полупроводниковой промышленности. Затворы этого модельного ряда приводятся в действие с помощью пневматических цилиндров, управляемых сжатым воздухом. Пластина затвора перемещается и останавливается посредством трапецеидального рычага. Рабочая среда — чистый воздух или коррозионно неактивные газы.

Преимущества

■ Используется конструкция с несколькими качающимися рычагами с равномерным распределением запирающего усилия. Затворы открываются с малой ударной вибрацией и низким уровнем шума.

■ Прочность и низкий уровень шума.

■ Для герметизации используются сильфоны из нержавеющей стали и витоновые уплотнительные кольца.

■ Корпус затвора из нержавеющей стали сварен изнутри, низкая величина течи.

■ Рациональное использование пространства, возможность единовременного транспортирования большого числа заготовок.


Размеры этого товара узнать можно по запросу.

Яндекс.Метрика