-800x800.png "Затвор высоковакуумный с водяным охлаждением GCQ, пневмопривод, CBVAC")
Затвор высоковакуумный с водяным охлаждением GCQ, пневмопривод, CBVAC
- по запросу
- Производитель: CBVAC
- Код:GCQ
| Технические характеристики | |
| Монтажное положение | произвольное |
| Перепад давления перед открыванием затвора | ≤ 2× 10³ Па в любом направлении |
| Величина течи в корпусе и основании затвора | 1,3×10⁻⁷ Па·л·с⁻¹ |
| Электропитание | 220 В переменного тока 50 Гц，6 Вт или 24 В пост. тока，3 Вт |
| Температура обезгаживания корпуса затвора | ≤150 °С. |
| Количество циклов до первого обслуживания | 10000 |
| Сжатый воздух | 0,5~0,7 МПа |
| Индикаторы положения | индикатор начального и конечного положения – герко |
| Привод | пневмопривод |
| Время открытия/закрытия, сек | в зависимости от размера затвора |
| Рабочее давление, Па | 1×10⁻⁵ Па～1,2×10⁵ Па |
Описание
Затворы этого модельного ряда имеют пневматический привод. Изделия этого модельного ряда отличает рациональная конструкция и превосходный внешний вид. Помимо этого, они имеют ряд преимуществ, а именно, прочность, низкую вибрацию после ударной нагрузки, долговечность, надежную герметизацию, продолжительный срок службы и других. В результате, использование таких затворов является приоритетным решением для автоматизированного вакуумного оборудования полупроводниковой промышленности. Затворы этого модельного ряда приводятся в действие с помощью пневматических цилиндров, управляемых сжатым воздухом. Пластина затвора перемещается и останавливается посредством трапецеидального рычага. Рабочая среда — чистый воздух или коррозионно неактивные газы.
Преимущества
■ Используется конструкция с несколькими качающимися рычагами с равномерным распределением запирающего усилия. Затворы открываются с малой ударной вибрацией и низким уровнем шума.
■ Прочность и низкий уровень шума.
■ Для герметизации используются сильфоны из нержавеющей стали и витоновые уплотнительные кольца.
■ Корпус затвора из нержавеющей стали сварен изнутри, низкая величина течи.
■ Рациональное использование пространства, возможность единовременного транспортирования большого числа заготовок.
Размеры этого товара узнать можно по запросу.
