Затвор высоковакуумный прямоугольной формы GCQ-2300x170, CBVAC

Затвор высоковакуумный прямоугольной формы GCQ-2300x170, CBVAC

по запросу

Количество

Производитель: CBVAC
Код:GCQ-2300x170

Характеристики

Технические характеристики
Перепад давления перед открыванием затвора	≤ 1× 10³ Па в любом направлении.
Монтажное положение	горизонтальное или вертикальное
Перепад давления перед открыванием затвора	≤ 2× 103 Па в любом направлении
Величина течи в корпусе и основании затвора	1,3×10⁻⁷ Па·л·с⁻¹
Электропитание	220 В переменного тока 50 Гц，6 Вт или 24 В пост. тока，3 Вт
Температура обезгаживания корпуса затвора	≤150 °С.
Количество циклов до первого обслуживания	10000
Сжатый воздух	0,5~0,7 МПа
Индикаторы положения	индикатор начального и конечного положения – геркон
Привод	Электромеханический
Размер A, мм	170
Размер B, мм	2300
Размер С, мм	1102
Размер D, мм	570
Размер E, мм	2710
Размер F, мм	2710
Размер G, мм	114
Размер H, мм	250
Размер I, мм	230
Время открытия/закрытия, сек	в зависимости от размера затвора
Рабочее давление, Па	1×10⁻⁶ Па～1,2×10⁵ Па

Описание

Затворы этого модельного ряда имеют пневматический привод. Изделия этого модельного ряда отличает рациональная конструкция и превосходный внешний вид. Помимо этого, они имеют ряд преимуществ, а именно, прочность, низкую вибрацию после ударной нагрузки, долговечность, надежную герметизацию, продолжительный срок службы и других. В результате, использование таких затворов является приоритетным решением для автоматизированного вакуумного оборудования полупроводниковой промышленности. Затворы этого модельного ряда приводятся в действие с помощью пневматических цилиндров, управляемых сжатым воздухом. Пластина затвора перемещается и останавливается посредством трапецеидального рычага. Рабочая среда — чистый воздух или коррозионно неактивные газы.

Преимущества

■ Используется конструкция с несколькими качающимися рычагами с равномерным распределением запирающего усилия. Затворы открываются с малой ударной вибрацией и низким уровнем шума.

■ Прочность и низкий уровень шума.

■ Для герметизации используются сильфоны из нержавеющей стали и витоновые уплотнительные кольца.

■ Корпус затвора из нержавеющей стали сварен изнутри, низкая величина течи.

■ Рациональное использование пространства, возможность единовременного транспортирования большого числа заготовок.