Система ввода пробы газа для масс-спектрометрического анализа MAS800, от атмосферного давления до сверхвысокого вакуума, дифференциальная откачка
- по запросу
- Производитель: Китай
- Код:MAS800
Характеристики
| Технические характеристики | |
| Подключение к вакуумной системе | Стандартные фланцы CF или KF — на выбор |
| Материал | Система ввода пробы — коррозионно-стойкая сталь 316 |
| Рабочее давление, Па | От атмосферного давления до сверхвысокого вакуума (отбор пробы с дифференциальной откачкой) |
Описание
Назначение
Квадрупольные масс-спектрометрические анализаторы остаточных газов работают только в вакууме при давлении ниже 5,0×10⁻² Па. Для более высоких давлений INSTRUE выпускает систему ввода пробы MAS800: она позволяет отбирать и анализировать газ при давлениях вплоть до атмосферного.
Области применения:
- процессы CVD-осаждения и магнетронного распыления в производстве полупроводников и плоских дисплеев;
- оперативный контроль технологических процессов в химической промышленности;
- анализ космической среды.
Особенности
- малогабаритный многофункциональный квадрупольный масс-спектрометрический газоанализатор;
- масс-спектрометрический анализ газа в широком диапазоне давлений — от атмосферного до сверхвысокого вакуума — за счёт отбора пробы с дифференциальной откачкой;
- в составе системы — малогабаритный турбомолекулярный насос и форвакуумный агрегат предварительной откачки;
- блок управления по выбору пользователя выполняется отдельным (чтобы вписать его в уже имеющееся оборудование) или встроенным в общий корпус;
- встроенный блок контроля вакуума работает совместно с квадрупольным анализатором остаточных газов (RGA): задание уставок контроля и взаимная блокировка;
- система ввода пробы из коррозионно-стойкой стали 316 — стабильность работы и длительный срок службы;
- присоединение для отбора пробы — стандартные фланцы CF или KF на выбор.
Подбор и заказ
Конфигурация системы — исполнение газоанализатора, тип и размер присоединения для отбора пробы, исполнение блока управления — согласуется при заказе под конкретный процесс. Технические характеристики конкретной конфигурации предоставляются по запросу.
Цены указаны в рублях с учётом НДС 22%.
