Квадрупольный масс-спектрометрический анализатор остаточных газов QGA200F, 1-200 AEM
- 2 282 280 руб.
- Производитель: Китай
- Код:QGA200F
Технические характеристики | |
Электропитание | +24 В пост. тока (+/-10%)/3,0 А |
Диапазон масс (АЕМ) | 1-200 |
Коллектор ионов | Фарадея |
Нить накала | Иридиевая, с покрытием из оксида иттрия |
Минимальное парциальное давление | 5,0E-10 Па |
Скорость сканирования | 2 мс - 60 с/АЕМ |
Макс. рабочая температура (Зонд) | 200 °C |
Рабочая температура ЭБУ | 0–45 °C |
Прикладное программное обеспечение | AccuRay 2.0 для Windows XP\07\08\10 |
Интерфейс связи | Гнездо разъема DSub-9, RS485 с гальванической развязкой, (скорость передачи данных 115 200 бод) |
Разъем ввода-вывода | 2 аналоговых входа (0-10 В пост. тока); 2 аналоговых выхода; 2 цифровых входа; внешнее включение нити накала |
Масса | QGA100: 2,5 кг; QGA200 и QGA300: 3,5 кг (включая зонды) |
Разрешение | 10%. Менее 1,0 АЕМ при 10% высоты пика (согласно рекомендациям AVS 1993) |
Рабочее давление, Па | 5,0E-2 Па - Сверхвысокий вакуум |
Габаритные размеры, мм | ЭБУ: Высота 137 мм х ширина 109 мм х длина 194 мм; зонд: диаметр 75 мм х длина 195 мм |
Масс-спектрометр VAccuRay QGA предназначен для анализа парциальных давлений остаточных газов при общем давлении <10-2 Па. Типовые способы применения анализатора: измерение, контроль и управление процессами в вакуумных системах.
Диапазон анализируемых масс от 1 до 300 а.е.м.
Состав изделия
Анализатор остаточных газов модельного ряда VAccuRay® в стандартной комплектации состоит из:
электронного блока управления (ЭБУ), включающего в себя: преобразователь высокой частоты, источник высокого напряжения постоянного тока, детектор ионного тока, цифровой процессор, интерфейс передачи данных RS485 и др.;
зонда, состоящего из источника ионов, квадрупольного фильтра, ионной линзы, цилиндра Фарадея (или вторично-электронный умножитель);
блока электропитания: (220 В перем. тока/+24 В пост. тока/4 А).
Дополнительное оборудование: для измерения парциального давления требуется вакуумный датчик INSTRUE WPH300 или WPC400.