| Размер Fn, мм |
87
|
| Размер Fd, мм |
95
|
| Управляющее давление, МПа |
0,4...0,7
|
| Тип фланца |
ISO
|
| Диаметр условно-проходной, мм |
63
|
| Рабочая температура, °C |
5...50
|
| Рабочее давление, Па |
от атмосферного до 1х10^-6
|
| Вес (кг) |
2,96 |
| Ресурс (млн. циклов) |
2
|
| Размер D, мм |
3
|
| Размер H, мм |
69
|
| Рабочая среда |
вакуум, газы неагрессивные
|
| Проводимость в молекулярном режиме (л/с) |
160
|
| Тип клапана |
нормально-закрытый
|
| Размер G, мм |
70
|
| Размер E, мм |
11
|
| Размер C, мм |
100
|
| Размер B, мм |
196
|
| Материал корпуса |
алюминий
|
| Размер A, мм |
88
|
| Присоединение управляющего воздуха |
Rc 1/8 (порт P); M5 (порт P,R)
|
