Активный датчик Leybold THERMOVAC TTR 911 / TTR 911 PB / TTR 911 D / TTR 911 CC / TTR 911 CC PB / TTR 916 / TTR 916 PB
- по запросу
Технические характеристики | |
Входной фланец | KF16 |
Принцип измерения | Теплопроводность по принципу Пирани |
Диапазон измерений, мБар | 5 x 10-5 - 1000 |
Питающее напряжение, В | +15 до +30 |
Выходной сигнал (Ra ≥ 10 кОм): измерительный сигнал | 0 - 10 В; 0.61 - 10 В (1.286 В/декада) |
Выходной сигнал (Ra ≥ 10 кОм): сигнал ошибки | 0 - 0.5 |
Электрическое подключение | FCC-68 разъем, 8-полосное |
Датчик | Сменная чувствительная ячейка |
Интерфейс | Profibus, DeviceNet |
Погрешность измерений, % | ± 50% (5 x 10 -4 до 1 x 10 -3 мбар(3.75 x 10-4 до 1 x 10-3 Торр )); |
Индикатор состояния | Индикатор работы (питание): зеленый светодиод; Ошибка: красный светодиод Триггер (включен): зеленый светодиод |
Диапазон измерений, мм рт. ст. (Торр) | 3.75 x 10^-5 - 750 |
Полная шкала измерений, мм рт. ст. (Торр) | 750 |
Вес, кг | от 0.23 до 0.25 |
Материал, контактирующий со средой | Нержавеющая сталь, TTR 911: вольфрам, TTR 911 CC: Al2O3 с вольфрамовым покрытием, TTR 916: никель |
Класс защиты | IP 40 |
Температура хранения, °C | -20 до +65/80 |
Потребление электроэнергии, Вт | <3 |
Уровень шума, Дб | 80 |
Максимальная длина кабеля, м. | 100 |
Триггер | Нормально открытый контакт реле |
Триггер: Диапазон регулировки мбар (Торр) | 2 x 10-5 - 1000 (3.75 x 10-5 - 750) |
Триггер: Гистерезис | 10% |
Мертвый объем, см3 | 4.7/от 0.23 до 0.25 |
Рабочая среда | |
Рабочая температура, °C | +10 до +50/80 |
Вакуумные датчики (Vacuum Sensors) предназначены для измерения давления в вакуумных системах.
Принцип работы датчиков серии THERMOVAC основан на изменении давления при изменении теплопроводности (принцип Пирани).
Датчики позволяют измерять давление в диапазоне от 5 × 10 -5 до 1000 мбар.
Три различных материала нити накала (TTR 911 - вольфрам, TTR 916 - никель, TTR 911 CC - керамика с вольфрамовым покрытием) позволяет выбрать датчик в зависимости от измеряемой среды. Модель TTR 911 CC хорошо подходит для требовательных процессов, таких как сухое травление, атомное осаждение слоёв (ALC), поскольку эти процессы, предъявляют высокие требования к корозийной устойчивости датчиков.
Опционально датчики модели TTR 911/916 могут быть оснащены встроенным дисплеем.
Преимущества:
- Два положения переключения с широким диапазоном регулировки (5 х 10-5 до 1000 мбар);
- Прочные датчики Пирани для различных сред;
- Стандартная нить накала (стандартные приложения, без агрессивных сред), нить накала из никеля (слегка агрессивные среды), нить накала из керамики с покрытием (высокая степень защиты от коррозии);
- Светодиодный указатель режима работы;
- Высокая степень воспроизводимости;
- Чувствительные сенсоры, которые легко заменить;
- Логарифмический выходной сигнал;
- Несколько вариантов сетевого интерфейса на выбор;
- Доступна версия с дисплеем, но без сетевого интерфейса;
- Низкое напряжение питания;
- Простота установки; Повышенная надежность;
- Непосредственная передача данных в ПЛК / компьютер через аналоговый интерфейс;
- Возможность большого расстояния между точкой измерения и обработки.
- Аналитическая инженерия;
- Схемы безопасности в вакуумных системах;
- Контроллинг датчиков ионизации;
- Вакуумные печи;
- Измерение давления и контроль систем в среде и широком вакуумном диапазоне;